特許
J-GLOBAL ID：201003060082777171
大型安定蒸気気泡のためのMEMS気泡発生器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山田 行一
, 野田 雅一
, 池田 成人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-528548
公開番号（公開出願番号）：特表2010-504228
出願日： 2006年10月09日
公開日（公表日）： 2010年02月12日
要約：
【課題】優れたMEMS蒸気気泡発生器を得る。【解決手段】気泡を生成するために液体と熱接触している加熱体を使用するMEMS蒸気気泡発生器。加熱体は、電力が比較的小さい副核形成部分と、気泡を核形成する電力が大きい部分とを有するように整形された電気パルスによってエネルギーが供給される。副核形成部分によって液体に伝達される熱エネルギーによって、核形成部分の間、加熱体の表面全体の気泡の核形成速度が速くなる。これによって、規則的な形状を有する、より大型で、より安定した気泡が生成される。【選択図】図2A
請求項（抜粋）：
液体を保持するためのチャンバと、
前記チャンバ内に配置され、前記液体と熱接触する加熱体と、
前記加熱体が前記液体中に蒸気気泡を発生させるよう、前記加熱体に電気パルスを提供するための駆動回路と
を備えるMEMS蒸気気泡発生器であって、
前記パルスが、
前記蒸気気泡を核形成するのに不十分な電力を伴う第1の部分と、
前記第1の部分に続く、前記蒸気気泡を核形成するのに十分な電力を伴う第2の部分と、を有する、MEMS蒸気気泡発生器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
2C057AF37
, 2C057AF75
, 2C057AG46
, 2C057AR04
, 2C057AR06
, 2C057AR07
, 2C057AR08
, 2C057AR17
, 2C057BA04
, 2C057BA13
, 3C081BA22
, 3C081BA23
, 3C081BA33
, 3C081EA31
, 3C081EA35
