特許
J-GLOBAL ID:201003060639072672
外観検査用照明装置および外観検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
特許業務法人信友国際特許事務所
, 舘野 千惠子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-085257
公開番号(公開出願番号):特開2010-237034
出願日: 2009年03月31日
公開日(公表日): 2010年10月21日
要約:
【課題】三次元画像および二次元画像を用いた複数種類の外観検査に対応しつつ外観検査に要する手間やコストを低減する上で有利な外観検査用照明装置および外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査用照明装置16は、透過性反射板32と、カバー34と、フレーム36と、第1の光源部38、第2の光源部40、第3の光源部42、第4の光源部44を含む。第1、第2、第3の光源部38、40、42から発せされた光は、透過性反射板32を透過して被検査物2を通る仮想平面に対して第1、第2、第3の角度θ1、θ2、θ3で交差して被検査物2を照射する。第4の光源部44から発せられた光は透過性反射板32の下面3206で拡散され反射されることで被検査物2を照射する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
光を透過する材料で形成されて中央に開口を有し、前記開口の中心軸を中心とし下方に至るにつれて半径が次第に拡大するドーム形状を呈し、下方からの光を拡散して反射する微細な凹凸が形成された反射面で形成され下面と、前記下面の反対側に位置する上面とを有する透過性反射板と、
前記透過性反射板の上面に設けられ前記開口の下方で前記中心軸を通る箇所に配置された被検査物に光を照射するための第1、第2、第3の光源部と、
前記透過性反射板の下方に設けられ前記被検査物に光を照射するための第4の光源部とを備え、
前記第1の光源部は、前記中心軸を中心とする前記上面の第1の環状の領域に配置された複数の光源で構成され、それら複数の光源から発せられた光が前記透過性反射板を透過して前記中心軸と直交し前記被検査物を通る仮想平面に対して第1の角度で交差して前記被検査物を照射し、
前記第2の光源部は、前記中心軸を中心とし前記第1の環状の領域よりも半径の大きい前記上面の第2の環状の領域に配置された複数の光源で構成され、それら複数の光源から発せされた光が前記透過性反射板を透過して前記仮想平面に対して前記第1の角度よりも小さい第2の角度で交差して前記被検査物を照射し、
前記第3の光源部は、前記中心軸を中心とし前記第1の環状の領域と前記第2の環状の領域との間に位置する前記上面の第3の環状の領域に配置された複数の光源で構成され、それら複数の光源から発せされた光が前記透過性反射板を透過して前記仮想平面に対して前記第1の角度と前記第2の角度との間の第3の角度で交差して前記被検査物を照射し、
前記第4の光源部は、前記透過性反射板の外周の下方に沿って配置された複数の光源で構成され、それら複数の光源から発せられた光が前記透過性反射板の下面で拡散され反射されることで前記被検査物を照射する、
外観検査用照明装置。
IPC (3件):
G01B 11/24
, H05K 3/34
, H05K 3/00
FI (3件):
G01B11/24 K
, H05K3/34 512B
, H05K3/00 Q
Fターム (24件):
2F065AA14
, 2F065AA51
, 2F065AA53
, 2F065AA61
, 2F065BB02
, 2F065BB27
, 2F065CC01
, 2F065CC26
, 2F065FF04
, 2F065FF05
, 2F065GG13
, 2F065GG21
, 2F065HH02
, 2F065HH03
, 2F065JJ05
, 2F065LL49
, 2F065NN01
, 2F065PP12
, 2F065QQ13
, 2F065SS03
, 2F065SS13
, 5E319BB05
, 5E319CD53
, 5E319GG15
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