特許
J-GLOBAL ID：201003061466871104
樹脂塗布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-079671
公開番号（公開出願番号）：特開2010-227867
出願日： 2009年03月27日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：
【課題】ミスト排出用の排気管の内面への樹脂ミストの付着による装置への悪影響を防ぎながら樹脂ミストを円滑に筐体内から排出する。【解決手段】排気管70の、下側から上側に流体が流れる鉛直部71の途中に設けたチャンバー部81内に、樹脂ミストおよび洗浄水ミストを下面に付着させて捕獲する傾斜板85を配設する。先に付着した樹脂ミストを洗浄水ミストで融解させて洗い流すサイクルを生じさせて、傾斜板85に樹脂ミストが多く堆積しないようにする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
板状のワークの一の面に液状の樹脂を塗布する樹脂塗布装置であって、
排気口を有する筐体と、
該筐体内に収容され、前記一の面が露出する状態に前記ワークを保持する保持面を有する保持手段と、
前記保持面に保持された前記ワークの前記一の面に前記液状の樹脂を供給する樹脂供給手段と、
前記保持面に保持された前記ワークに洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、
前記筐体の前記排気口と吸引源とを連通させて、該筐体内の流体を該吸引源に導く排気管と、
該排気管の途中に設けられ、該排気管を流れる前記流体中に含まれる前記筐体内で発生したミストを捕獲するミスト捕獲部を有する気液分離手段と、
を備えることを特徴とする樹脂塗布装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
4F042AA07
, 4F042EB05
, 4F042EB09
, 4F042EB18
, 4F042EB24
