特許

J-GLOBAL ID：201003061598723007

SOI基板の作製方法

発明者： 下村 明久 ,  大沼 英人 ,  桃 純平 ,  山崎 舜平
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-177815
公開番号（公開出願番号）：特開2010-056543
出願日： 2009年07月30日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：

【課題】レーザー光を照射することにより単結晶半導体層の結晶性を回復させる場合であっても、レーザー光の照射時に酸素が取り込まれるのを抑制し、レーザー光の照射前後において、単結晶半導体層に含まれる酸素濃度を同等又は低減することを目的の一とする。【解決手段】貼り合わせによりベース基板上に設けられた単結晶半導体層にレーザー光を照射して当該単結晶半導体層の結晶性を回復(再単結晶化)させる工程を有し、レーザー光の照射を還元性雰囲気下または不活性雰囲気下で行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

単結晶半導体基板に加速されたイオンを照射することにより、前記単結晶半導体基板中に脆化領域を形成し、 絶縁層を介して前記単結晶半導体基板とベース基板とを貼り合わせ、 前記脆化領域において前記単結晶半導体基板を分離して、前記ベース基板上に前記絶縁層を介して単結晶半導体層を形成し、 還元性雰囲気下で前記単結晶半導体層の表面にレーザー光を照射して前記単結晶半導体層の少なくとも表層部を溶融させ、前記単結晶半導体層を再単結晶化させるSOI基板の作製方法。

IPC (11件)：

H01L 21/02 ,  H01L 27/12 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/268 ,  H01L 21/322 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 27/08 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/092

FI (10件)：

H01L27/12 B ,  H01L27/12 R ,  H01L21/265 Q ,  H01L21/265 F ,  H01L21/268 F ,  H01L21/322 X ,  H01L21/20 ,  H01L29/78 627D ,  H01L27/08 331E ,  H01L27/08 321B

Fターム (119件)：

5F048AA07 ,  5F048AB03 ,  5F048AB10 ,  5F048AC04 ,  5F048BA14 ,  5F048BA15 ,  5F048BA16 ,  5F048BB11 ,  5F048BC05 ,  5F048BD04 ,  5F048BF02 ,  5F048BF07 ,  5F048BF12 ,  5F048BF16 ,  5F048BG01 ,  5F048BG02 ,  5F048BG07 ,  5F048DA24 ,  5F110AA01 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE28 ,  5F110EE32 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG04 ,  5F110GG12 ,  5F110GG23 ,  5F110GG30 ,  5F110GG32 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL12 ,  5F110HM04 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP05 ,  5F110PP06 ,  5F110PP13 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ17 ,  5F110QQ23 ,  5F152AA01 ,  5F152AA12 ,  5F152AA13 ,  5F152AA15 ,  5F152BB02 ,  5F152CC02 ,  5F152CC03 ,  5F152CC06 ,  5F152CC08 ,  5F152CD13 ,  5F152CD14 ,  5F152CD15 ,  5F152CE03 ,  5F152CE06 ,  5F152CE08 ,  5F152CE24 ,  5F152CE41 ,  5F152CE47 ,  5F152CE48 ,  5F152EE13 ,  5F152EE15 ,  5F152EE16 ,  5F152FF03 ,  5F152FF24 ,  5F152FF28 ,  5F152FF36 ,  5F152FF39 ,  5F152FG01 ,  5F152FG04 ,  5F152FG23 ,  5F152FG29 ,  5F152FH02 ,  5F152FH03 ,  5F152FH05 ,  5F152LL16 ,  5F152LP01 ,  5F152LP04 ,  5F152LP07 ,  5F152MM04 ,  5F152MM19 ,  5F152NN03 ,  5F152NN12 ,  5F152NN13 ,  5F152NN14 ,  5F152NN16 ,  5F152NP13 ,  5F152NP14 ,  5F152NQ03 ,  5F152NQ04 ,  5F152NQ05 ,  5F152NQ06