特許
J-GLOBAL ID：201003061740619875

プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のマスク搬送方法、及び表示用パネル基板の製造方法

発明者：
小塚 敏幸

小塚 敏幸 について

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森 順一

森 順一 について

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松山 勝章

松山 勝章 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-103657
公開番号（公開出願番号）：特開2010-256437
出願日： 2009年04月22日
公開日（公表日）： 2010年11月11日
要約：
【課題】突き上げピンによるマスクの損傷を防止し、かつ露光時の露光むらを抑制する。【解決手段】チャック10に、チャック10の内部から上昇する複数の突き上げピン12a,12b,12cを設ける。各突き上げピン12a,12b,12cの先端をマスクより柔らかい材質のものに変更し、マスクをマスク搬送装置によりチャック10へ搬入し、マスクを複数の突き上げピン12a,12b,12cによりマスク搬送装置から受け取る。ステージによりチャック10を移動して、マスクの位置決めを行い、マスクを複数の突き上げピン12a,12b,12cによりマスクホルダ20に装着した後、各突き上げピン12a,12b,12cの先端をチャック10の表面と同じ材質のもの(パッド30)に変更する。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
基板を搭載するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、前記チャックを移動するステージとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、 マスクを前記チャックへ搬入するマスク搬送装置と、 前記チャックに設けられ、前記チャックの内部から上昇して、マスクを前記マスク搬送装置から受け取り、前記マスクホルダに装着する複数の突き上げピンと、 前記複数の突き上げピンの先端を変更するピン先端変更手段と、 前記ステージの移動を制御して、マスクの位置決めを行う制御手段とを備え、 前記ピン先端変更手段は、前記複数の突き上げピンがマスクを前記マスク搬送装置から受け取る前、各突き上げピンの先端をマスクより柔らかい材質のものに変更し、前記複数の突き上げピンがマスクを前記マスクホルダに装着した後、各突き上げピンの先端を前記チャックの表面と同じ材質のものに変更することを特徴とするプロキシミティ露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ,  G02F 1/13
FI (2件)：
G03F7/20 501 ,  G02F1/13 101
Fターム (14件)：
2H088FA18 ,  2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H088HA08 ,  2H088HA12 ,  2H088HA14 ,  2H097DA11 ,  2H097DA12 ,  2H097GA45 ,  2H097KA33 ,  2H097LA11 ,  2H097LA12
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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