特許
J-GLOBAL ID：201003061790585653

光重合性樹脂組成物及びその用途

発明者：
木野 智博

木野 智博 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-132498
公開番号（公開出願番号）：特開2010-277051
出願日： 2009年06月01日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：
【課題】本発明は、現像後解像性および密着性が良好で、現像液分散安定性に優れ凝集物が発生しない光重合性樹脂組成物、及び該組成物を含有する光重合性樹脂層を有する光重合性樹脂積層体を提供すること、ならびに、該積層体を用いたレジストパターンの形成方法、及び導体パターン等の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】(A)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、特定のモノマーを共重合成分として50質量%以上含有し、かつ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂:10〜90質量%、(b)光重合性不飽和化合物:5〜70質量%、(c)光重合開始剤0.01〜20質量%を含有してなる光重合性樹脂組成物であって、該(b)光重合性不飽和化合物が、特定の化合物を含有することを特徴とする光重合性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、下記一般式(I)で表されるモノマーを共重合成分として50質量%以上含有し、かつ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂を光重合性樹脂組成物の総和に対し、10〜90質量%、(b)光重合性不飽和化合物を光重合性樹脂組成物の総和に対し、5〜70質量%、(c)光重合開始剤を光重合性樹脂組成物の総和に対し、0.01〜20質量%を含有してなる光重合性樹脂組成物であって、該(b)光重合性不飽和化合物が、下記一般式(II)で表される群から選ばれる少なくとも1つの化合物、及び、下記一般式(III)で表される群から選ばれる少なくとも1つの化合物を含有することを特徴とする光重合性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50
FI (9件)：
G03F7/033 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/027 513 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/40 521 ,  H05K3/06 H ,  H05K3/18 D ,  C08F2/44 C ,  C08F2/50
Fターム (45件)：
2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096CA16 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA17 ,  2H096HA27 ,  2H096JA04 ,  2H096LA02 ,  2H125AC33 ,  2H125AC34 ,  2H125AC37 ,  2H125AD12 ,  2H125AD24 ,  2H125AN11P ,  2H125AN47P ,  2H125BA04P ,  2H125BA09P ,  2H125BA16P ,  2H125BA17P ,  2H125BA18P ,  2H125CA11 ,  2H125CA12 ,  2H125CA13 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD08P ,  2H125CD38 ,  4J011PA30 ,  4J011PA65 ,  4J011PB25 ,  4J011PC02 ,  4J011SA25 ,  4J011SA78 ,  5E339CC01 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339DD04 ,  5E343CC63 ,  5E343DD32 ,  5E343ER18
引用特許：
審査官引用 (3件)

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