特許
J-GLOBAL ID：201003062051289430
媒体の圧力を測定する圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
片寄 恭三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-176336
公開番号（公開出願番号）：特開2010-038916
出願日： 2009年07月29日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：
【課題】酸性環境において耐久性のある圧力センサモジュールを提供する。【解決手段】圧力センサモジュールは、支持部材5の前方3に搭載された感知部材1を含む。支持部材5は、前方3から後方9に支持部材5を貫通する穴7を含む。感知部材1は、穴7を前方3で覆っている。支持部材5の後方9に設けられた後方バリア6は、支持部材5の後方9の表面を取り囲み閉じられた領域8を形成する。閉じられた領域8と穴7は、圧力チャンネル10を形成する。後方保護部材2は、穴7と少なくとも部分的に閉じられた領域8とを充填する。支持部材5、後方バリア6、および後方保護部材2は、モジュールを形成する。そのモジュールは、圧力センサの製造過程で、圧力センサのハウジング内に位置され得る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧力センサで使用される圧力センサモジュールであって、
支持部材の前方に搭載された感知部材であって、前記支持部材は、前方から後方に貫通する穴を含み、前記感知部材が前方で前記穴を覆う、前記感知部材と、
前記支持部材の後方にある後方バリアであって、当該後方バリアは、前記支持部材の後方の表面を取り囲み閉じられた領域を形成し、当該閉じられた領域と前記穴が圧力チャンネルを形成する、前記後方バリアと、
前記穴と少なくとも部分的に前記閉じられた領域を充填する後方保護部材と、を含む圧力センサモジュール。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L13/06 R
, H01L29/84 B
2F055AA27
, 2F055AA31
, 2F055BB05
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055DD09
, 2F055EE11
, 2F055FF38
, 2F055GG12
, 2F055GG25
, 2F055HH05
, 2F055HH11
, 4M112AA01
, 4M112BA01
, 4M112CA01
, 4M112CA03
, 4M112CA07
, 4M112CA12
, 4M112CA13
, 4M112FA07
, 4M112FA08
, 4M112GA01
