特許
J-GLOBAL ID:201003062806904173
走査ビーム装置の較正
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
, 上杉 浩
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-545530
公開番号(公開出願番号):特表2010-515947
出願日: 2007年04月20日
公開日(公表日): 2010年05月13日
要約:
較正パターンを使用する走査ビーム装置の較正を開示する。1つの態様では、方法が、走査ビーム装置を使用して較正パターンの画像を取得するステップを含むことができる。取得した画像を較正パターンの表示と比較することができる。この比較に基づいて走査ビーム装置を較正することができる。これらの及びその他の較正方法を行うためのソフトウェア及び装置も開示する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
走査ビーム装置を使用して較正パターンの画像を取得するステップと、
前記取得した画像を前記較正パターンの表示と比較するステップと、
前記比較に基づいて前記走査ビーム装置を較正するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
IPC (3件):
G02B 26/10
, A61B 1/00
, G02B 23/24
FI (4件):
G02B26/10 C
, A61B1/00 300Y
, G02B26/10 109
, G02B23/24 B
Fターム (15件):
2H040BA01
, 2H040CA07
, 2H040CA11
, 2H040CA22
, 2H040DA17
, 2H040DA21
, 2H040DA43
, 2H045AE02
, 2H045AE05
, 2H045BA13
, 2H045BA14
, 4C061CC06
, 4C061FF40
, 4C061FF46
, 4C061JJ20
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