特許
J-GLOBAL ID:201003064986702894
静圧軸受パッド、直動案内装置および回転案内装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
, 荒川 伸夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-268946
公開番号(公開出願番号):特開2010-096311
出願日: 2008年10月17日
公開日(公表日): 2010年04月30日
要約:
【課題】支持する被支持体の質量の変化に応じて静圧を制御することにより、被支持体の質量に関わらず安定に支持する静圧軸受パッドを提供する。【解決手段】静圧軸受パッド110において、第1の給気溝51および第2の給気溝52とは互いに独立しており、互いに不連続となっている。軸受面21に供給するための加圧気体は、第1の給気溝51については加圧気体供給部としての第1の給気管41から、そして第2の給気溝52については加圧気体供給部としての第2の給気管42から、互いに独立に供給される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
加圧気体を用いて被支持体を支持する静圧軸受パッドであって、
軸受面を有する軸受部材と、
前記軸受部材を保持するためのハウジングとを備え、
前記軸受部材と前記ハウジングとの接続部において、前記軸受部材と前記ハウジングとの少なくとも一方に、前記加圧気体を前記軸受面に供給するための複数本の互いに独立した給気溝が形成され、
複数本の前記給気溝のそれぞれに独立して前記加圧気体を供給する加圧気体供給部を備える、静圧軸受パッド。
IPC (1件):
FI (2件):
F16C32/06 A
, F16C32/06 Z
Fターム (18件):
3J102AA02
, 3J102BA03
, 3J102BA05
, 3J102BA14
, 3J102BA17
, 3J102CA02
, 3J102CA10
, 3J102EA02
, 3J102EA06
, 3J102EA07
, 3J102EA09
, 3J102EA10
, 3J102EA13
, 3J102EA16
, 3J102EA17
, 3J102EA22
, 3J102GA01
, 3J102GA07
引用特許:
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