特許

J-GLOBAL ID：201003065116466903

真空配管用チューブ

発明者： 小泉 一夫 ,  佐藤 俊彦
出願人/特許権者： 大阪ラセン管工業株式会社 ,  東京エレクトロン株式会社
代理人 (6件)： 高島 一 ,  土井 京子 ,  鎌田 光宜 ,  田村 弥栄子 ,  山本 健二 ,  村田 美由紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-164195
公開番号（公開出願番号）：特開2010-048412
出願日： 2009年07月10日
公開日（公表日）： 2010年03月04日
要約：

【課題】管内外の圧力差に対する管の機械的強度を損なうことなく、直管部、ベローズ部を含めた配管全体の重量を軽減すること。【解決手段】ベローズ部1と直管部2とを、同じ一本の金属製の管状素材から互いに連続するように形成し、両者の境界部3に接合構造を無くし、両者の肉厚を互いに実質的に同じ薄肉にする。ここで、直管部2に、局所的に該直管部の胴体を周方向に環状に取り巻く稜線状突起部4を1以上形成し、管内外の圧力差に対して直管部が耐え得るチューブ構造とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ベローズ部と直管部とを有する、金属製の真空配管用チューブであって、 該ベローズ部と該直管部とは、一本のベローズ形成用の薄肉の管状素材から互いに連続するように形成されており、それによって、両者の境界部には接合構造が存在せず、かつ、両者の肉厚は互いに実質的に同じであり、 直管部には、その胴体を周方向に環状に取り巻く稜線状突起部が1以上形成されており、該稜線状突起部は、管の壁部が実質的に同じ肉厚のまま外側へ膨らみ、周方向に稜線状に連なるように突起したものであり、該稜線状突起部によって、直管部は、ベローズ部と連続しかつ該ベローズ部と実質的に同一の薄肉でありながら、管内外の圧力差に耐え得るように補強された構成となっている、 真空配管用チューブ。

IPC (3件)：

F16L 11/14 ,  F16L 3/10 ,  F16L 3/12

FI (3件)：

F16L11/14 ,  F16L3/10 Z ,  F16L3/12 F

Fターム (16件)：

3H023AA03 ,  3H023AB04 ,  3H023AC05 ,  3H023AD08 ,  3H023AD21 ,  3H023AD55 ,  3H111AA02 ,  3H111BA01 ,  3H111CA42 ,  3H111CA46 ,  3H111CA47 ,  3H111CB02 ,  3H111CB14 ,  3H111DA18 ,  3H111DB11 ,  3H111DB22