特許

J-GLOBAL ID：201003065305335542

プローブカードに関する情報の処理方法、及び処理された情報を用いる被検査体の通電試験方法

発明者： 長谷川 義栄 ,  増田 光 ,  安田 勝男 ,  鷲尾 賢一 ,  長谷川 昌志
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-133539
公開番号（公開出願番号）：特開2010-204122
出願日： 2010年06月11日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：

【課題】 検査途中における平行度調整を容易にすることにある。【解決手段】 プローブカードに関する情報を処理する方法は、基板、該基板に配置された複数のプローブ及び前記基板に配置された記憶装置を備えるプローブカードに関する情報を処理する方法であって、少なくとも3つの第1の基準プローブと、針先高さ位置が揃っている少なくとも3つの第2の基準プローブとを決定し、プローブの最適オーバードライブ量を決定し、前記第1の基準プローブの針先のXY座標位置、前記第2の基準プローブの針先高さ位置、及び前記最適なオーバードライブ量を前記記憶装置に書き込むこととを含む。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

基板、該基板に配置された複数のプローブ及び前記基板に配置された記憶装置を備えるプローブカードに関する情報を処理する方法であって、 少なくとも3つの第1の基準プローブと、針先高さ位置が揃っている少なくとも3つの第2の基準プローブとを決定し、 プローブの最適オーバードライブ量を決定し、 前記第1の基準プローブの針先のXY座標位置、前記第2の基準プローブの針先高さ位置、及び前記最適なオーバードライブ量を前記記憶装置に書き込むこととを含む、プローブカードに関する情報を処理する方法。

IPC (2件)：

G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R31/28 K ,  H01L21/66 B ,  H01L21/66 P

Fターム (21件)：

2G132AA00 ,  2G132AF06 ,  2G132AL03 ,  2G132AL11 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA50 ,  4M106DD06 ,  4M106DD10 ,  4M106DD11 ,  4M106DD30 ,  4M106DH12 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ39

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特許第3193958号
  
• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-176603   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• 半導体装置の検査方法及びその検査に用いるプローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-104982   出願人：松下電器産業株式会社
• プローブカードの検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-106272   出願人：株式会社日本マイクロニクス

審査官引用 (3件)

• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-176603   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• 半導体装置の検査方法及びその検査に用いるプローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-104982   出願人：松下電器産業株式会社
• プローブカードの検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-106272   出願人：株式会社日本マイクロニクス