特許

J-GLOBAL ID：201003065767921978

基板固定装置

発明者： 山本 幸司 ,  在間 則文 ,  畑 強之
出願人/特許権者： 三星ダイヤモンド工業株式会社
代理人 (1件)： 山田 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-081253
公開番号（公開出願番号）：特開2010-232603
出願日： 2009年03月30日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：

【課題】所望の形状に基板を変形でき且つ固定できる基板固定装置を提供する。【解決手段】吸引孔12が形成された基板支持面15を覆うように載置板2を取り付けるとともに、吸引孔12が連通する減圧室11a〜11cを負圧にする真空ポンプPを設ける。そして、調整弁Va〜Vcの開度を調整することによって、減圧室11a〜11c内を異なる負圧とし、吸引孔12の吸引力を部分的に異なるものとして、基板を変形させた状態で載置板2上に吸着固定する。ここで、所望形状に滑らかに基板を変形させる観点からは、前記弾性多孔質部材の厚みは0.1mm〜5mmの範囲であるのが好ましい。また、前記弾性多孔質部材の弾性率は10〜25N/mm2の範囲であるのが好ましい。さらに、前記弾性多孔質部材の気孔率は20〜50%の範囲であるのが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

吸引孔又は吸引溝が形成された基板支持面を有する基台と、前記基板支持面を覆うように取り付けられた弾性多孔質部材と、前記吸引孔又は前記吸引溝の内部に負圧を発生させる吸引手段とを備え、前記弾性多孔質部材の表面に基板を吸着固定する装置であって、 前記吸引孔又は前記吸引溝の内部に発生させる負圧を部分的に異なるものとして、吸着固定した前記基板を変形可能としたことを特徴とする基板固定装置。

IPC (5件)：

H01L 21/683 ,  B23Q 3/08 ,  B23K 26/10 ,  H01L 21/301 ,  C03B 33/037

FI (5件)：

H01L21/68 P ,  B23Q3/08 A ,  B23K26/10 ,  H01L21/78 N ,  C03B33/037

Fターム (24件)：

3C016DA05 ,  3C016DA11 ,  4E068AD00 ,  4E068AE00 ,  4E068CA14 ,  4E068CB06 ,  4E068CE09 ,  4E068CJ07 ,  4E068DA10 ,  4E068DB12 ,  4E068DB13 ,  4G015FA03 ,  4G015FA06 ,  4G015FB01 ,  4G015FC02 ,  4G015FC14 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA06 ,  5F031HA07 ,  5F031HA14 ,  5F031MA34 ,  5F031PA30