特許

J-GLOBAL ID：201003066293570393

配線パターンの形成方法、トランジスタ素子基板並びに表示装置

発明者： 友野 英紀
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-127736
公開番号（公開出願番号）：特開2010-166015
出願日： 2009年05月27日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：

【課題】濡れ性制御パターンとインクジェット印刷パターンとのアライメントを容易に高精度で合わせる配線パターンの形成方法を提供し、トランジスタ素子基板並びに表示装置を提供する。【解決手段】濡れ性変化層に高表面エネルギーラインL1〜L5がピッチqで配列されてなるアライメントマークMを形成する工程と、ドットラインD3の目標着弾点の中心線が高表面エネルギーラインL3の中心線に一致するように、仮に設定された印刷開始位置からインクジェット法によりピッチqとは異なる間隔の印刷ピッチpでドットラインD1〜D5をテスト印刷するテスト印刷工程と、テスト印刷ラインごとの高表面エネルギーラインからのインクのはみ出し状態からドットラインとお互いの中心線が略一致する高表面エネルギーラインのライン配列における位置を検出する検出工程と、前記検出結果を基に、前記印刷開始位置を調整する印刷位置調整工程とを有する。【選択図】図13

請求項（抜粋）：

表面に配線パターンとなる高表面エネルギー領域と低表面エネルギー領域とが形成されている濡れ性変化層を有する基板に、吐出ノズルを有するヘッドから配線用インクの液滴を吐出して配線パターンを形成する配線パターンの形成方法であって、 前記濡れ性変化層に、前記吐出ノズルから吐出される液滴の着弾幅に対応する幅の前記高表面エネルギー領域からなるラインが一定間隔のピッチqでストライプ状に配列されてなるアライメントマークを形成する工程と、 前記アライメントマークに対して前記ピッチqとは異なる間隔の印刷ピッチpで複数のドットラインとなるように前記吐出ノズルから吐出する際に、該複数のドットラインにおける所定のドットラインの目標着弾点の中心線が前記アライメントマークの所定のラインの中心線に一致するように、仮に設定された印刷開始位置から前記ヘッド及び/又は基板を走査して、前記吐出ノズルから前記アライメントマークに配線用インクの液滴を吐出して前記複数のドットラインを印刷するテスト印刷工程と、 前記複数のドットラインそれぞれに基づく印刷ラインごとの前記アライメントマークのラインからの配線用インクのはみ出し状態から、前記ドットラインとお互いの中心線が略一致する前記アライメントマークのラインを特定し、該ラインのライン配列における位置を検出する検出工程と、 前記検出結果を基に、前記印刷開始位置を調整する印刷位置調整工程と、 調整された印刷開始位置から前記ヘッドにより前記濡れ性変化層上に配線パターンを印刷するパターニング工程と、 を有する配線パターンの形成方法。

IPC (8件)：

H01L 21/288 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/28 ,  B05D 1/26 ,  H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  H05K 3/10

FI (7件)：

H01L21/288 Z ,  H01L29/78 616K ,  H01L29/78 617J ,  H01L21/28 301R ,  B05D1/26 Z ,  H01L21/88 A ,  H05K3/10 D

Fターム (61件)：

4D075AC07 ,  4D075AE04 ,  4D075CA35 ,  4D075CA37 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB31 ,  4D075DC18 ,  4D075DC21 ,  4D075EA05 ,  4D075EA33 ,  4M104BB05 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD01 ,  4M104DD51 ,  4M104GG09 ,  4M104HH14 ,  5E343AA11 ,  5E343AA26 ,  5E343BB23 ,  5E343BB25 ,  5E343BB44 ,  5E343BB72 ,  5E343CC21 ,  5E343DD12 ,  5E343FF05 ,  5E343GG08 ,  5F033GG03 ,  5F033GG04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033MM21 ,  5F033PP19 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ53 ,  5F033QQ73 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033VV00 ,  5F033VV15 ,  5F033WW00 ,  5F033XX33 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC03 ,  5F110DD02 ,  5F110DD12 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE02 ,  5F110FF05 ,  5F110GG05 ,  5F110GG42 ,  5F110HK02 ,  5F110HK32