特許

J-GLOBAL ID：201003067084655957

粒子ビームシステム

発明者： ヒューバート マンツ ,  ライナー アーノルド ,  ミヒャエル アルビーズ
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハー
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  澤田 達也 ,  下地 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-026846
公開番号（公開出願番号）：特開2010-182679
出願日： 2010年02月09日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：

【課題】一次粒子ビームを生成するための粒子ビーム源、電子検出器およびX線検出器を有する粒子ビームシステムにおいて、X線検出器を含む従来の電子顕微鏡におけるX線の検出効率が低すぎるという欠点を改善する。【解決手段】粒子ビームシステムは、一次粒子ビームを生成するように構成した粒子ビーム源と、一次粒子ビームを物体平面に集束するように構成した対物レンズと、粒子検出器と、対物レンズと物体平面との間に配置したX線検出器とを備える。X線検出器は、物体平面に向いた検出面をそれぞれ有する第1および第2の半導体検出器と、物体平面と第1半導体検出器の検出面との間に配置した第1薄膜と、物体平面と第2半導体検出器の検出面との間に配置した第2薄膜とを備え、第1薄膜の電子透過率は第2薄膜の電子透過率よりも高い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一次粒子ビームを生成するように構成した粒子ビーム源と、 前記一次粒子ビームを物体平面に集束するように構成した対物レンズと、 粒子検出器と、 前記対物レンズと前記物体平面との間に配置したX線検出器とを備える粒子ビームシステムにおいて、 前記X線検出器が、 前記物体平面に向いた検出面をそれぞれ有する第1および第2の半導体検出器と、 前記物体平面と前記第1半導体検出器の前記検出面との間に配置した第1薄膜と、 前記物体平面と前記第2半導体検出器の前記検出面との間に配置した第2薄膜とを備え、 前記第1薄膜の電子透過率が、前記第2薄膜の電子透過率よりも高いことを特徴とする粒子ビームシステム。

IPC (2件)：

H01J 37/244 ,  G01T 1/24

FI (2件)：

H01J37/244 ,  G01T1/24

Fターム (7件)：

2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ08 ,  2G088JJ29 ,  5C033NN04 ,  5C033NP06 ,  5C033NP08