アルミニウム含有感光性樹脂組成物およびパターン形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：牧村浩次 , 高畑ちより
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-066102
公開番号（公開出願番号）：特開2010-217683
出願日： 2009年03月18日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：

【課題】抵抗値が低くかつ化学耐性(耐酸性、耐アルカリ性)に優れたパターンを形成可能な、安価なアルミニウム含有感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】無機粒子と感光性樹脂成分とからなる感光性樹脂組成物であって、前記無機粒子が、(A)アルミニウム粉末、(B)ガラス粉末および(C)フレーク状シリカを含み、前記感光性樹脂成分が、(D)アルカリ可溶性樹脂、(E)多官能(メタ)アクリレートおよび(F)光重合開始剤を含むことを特徴とするアルミニウム含有感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

無機粒子と感光性樹脂成分とからなる感光性樹脂組成物であって、前記無機粒子が、(A)アルミニウム粉末、(B)ガラス粉末および(C)フレーク状シリカを含み、前記感光性樹脂成分が、(D)アルカリ可溶性樹脂、(E)多官能(メタ)アクリレートおよび(F)光重合開始剤を含むことを特徴とするアルミニウム含有感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 , H01J 9/02 , H05K 1/09 , H01J 11/02 , C08F 2/44

FI (5件)：

G03F7/004 501 , H01J9/02 F , H05K1/09 A , H01J11/02 B , C08F2/44 A

Fターム (81件)：

2H125AC33 , 2H125AC72 , 2H125AD02 , 2H125AD15 , 2H125AM22P , 2H125AM32P , 2H125AM92P , 2H125AN11P , 2H125AP05P , 2H125AP11P , 2H125AP13P , 2H125BA06P , 2H125BA10P , 2H125BA20P , 2H125BA30P , 2H125CA13 , 2H125CA21 , 2H125CA30 , 2H125CB02 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H125CD13P , 2H125CD29P , 2H125CD33 , 2H125CD40 , 4E351AA13 , 4E351BB01 , 4E351BB31 , 4E351CC11 , 4E351DD05 , 4E351DD10 , 4E351EE03 , 4E351EE21 , 4E351GG09 , 4E351GG13 , 4E351GG16 , 4J011PA03 , 4J011PA13 , 4J011PA15 , 4J011PA70 , 4J011PB02 , 4J011PB27 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA13 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011SA05 , 4J011SA07 , 4J011SA22 , 4J011SA25 , 4J011SA26 , 4J011SA27 , 4J011SA32 , 4J011SA61 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011SA83 , 4J011SA84 , 4J011UA01 , 4J011WA01 , 5C027AA01 , 5C040FA01 , 5C040FA04 , 5C040GB03 , 5C040GB14 , 5C040GC18 , 5C040GC19 , 5C040KA01 , 5C040MA26 , 5H032AA06 , 5H032AS16 , 5H032BB02 , 5H032BB05 , 5H032BB06 , 5H032BB10 , 5H032CC11 , 5H032EE02 , 5H032EE04 , 5H032EE16 , 5H032HH04

引用特許：

審査官引用 (6件)

感光性導電ペーストおよびプラズマディスプレイ用電極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-137013 出願人：東レ株式会社
鱗片状シリカ粒子、硬化性組成物、それからなる硬化体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-351182 出願人：洞海化学工業株式会社
特開平2-292362

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