特許

J-GLOBAL ID：201003067727622296

膜厚センサー及び成膜装置

発明者： 吉川 俊明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 近島 一夫 ,  阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-007209
公開番号（公開出願番号）：特開2010-165570
出願日： 2009年01月16日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：

【課題】真空チャンバーを大気開放することなく、膜厚センサーの振動子を繰り返し再生して使用することを可能にする。【解決手段】複数の振動子5を振動子ホルダー6上に設置し、検知部3に位置する振動子5の表面にある程度の膜厚の蒸着膜が堆積したら、振動子ホルダー6を回転させ、誘導電極9を有する再生部8に移動させる。誘導加熱によって振動子5の表面の蒸着膜を再蒸発させて再生する間、検知部3に位置する振動子5を測定に使用する。この工程を繰り返すことで、真空チャンバーを大気開放せずに膜厚センサーを再使用して蒸着を続けることが可能になる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に成膜するための蒸着材料の蒸着レートを検出する膜厚センサーにおいて、 振動子と、 前記振動子に蒸着材料を堆積させ、前記振動子の重量変化を周波数のズレから検知し、前記振動子に堆積した蒸着材料の膜厚に換算して蒸着レートを検出する検知部と、 前記振動子に堆積した蒸着材料を誘導加熱によって脱離させるための誘導加熱手段と、 前記誘導加熱手段によって前記振動子を再生させる再生部と、 前記振動子を、前記検知部と前記再生部との間で移動させ、前記振動子による蒸着レートの検出と前記振動子の再生とを交互に行うための移動機構と、を有することを特徴とする膜厚センサー。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/52 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/52 ,  H05B33/14 A

Fターム (14件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  3K107GG56 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DA03 ,  4K029DB06 ,  4K029DB18