特許

J-GLOBAL ID：201003067760125591

電磁波発生装置および電磁波発生方法

発明者： 牧 謙一郎 ,  植松 浩司 ,  大谷 知行
出願人/特許権者： 独立行政法人理化学研究所
代理人 (3件)： 堀田 実 ,  仲宗根 康晴 ,  野村 俊博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-119617
公開番号（公開出願番号）：特開2010-267897
出願日： 2009年05月18日
公開日（公表日）： 2010年11月25日
要約：

【課題】簡易かつ安価な構造で、パルス列レーザー光、テラヘルツ波またはミリ波を発生させることができる電磁波発生装置と電磁波発生方法を提供する。【解決手段】空間分布パルス列変換装置20と集光レンズ26を備える。空間分布パルス列変換装置20は第1および第2のミラー22,24を有し、第1ミラー22は一部で密接する境界線23を跨いで段差部を有する第1と第2の反射面22a,22bを有する。この空間分布パルス列変換装置20により、入射するフェムト秒レーザーパルス又はピコ秒レーザーパルスのパルスレーザーを、境界線23を跨ぐ反射面22a,22bでの反射により段差間隔に比例する時間差で空間的に分布した複数のパルスレーザー光からなる空間分布パルス列レーザー光3に変換する。集光レンズ26は、空間分布パルス列レーザー光3を集光して同軸上に時間的に等間隔な複数のパルスレーザー光からなる同軸パルス列レーザー光4を生成する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

互いに対向して配置された第1および第2のミラーを有し、該第1のミラーは、互いにその一部で密接する境界線を跨いで段差部を有する第1と第2の反射面を有し、前記第1および第2のミラーの間に入射するフェムト秒レーザーパルス又はピコ秒レーザーパルスのパルスレーザー光を、前記境界線を跨ぐ前記第1と第2の反射面での反射により第1と第2の反射面の段差間隔に比例する時間差で空間的に分布した複数のパルスレーザー光からなる空間分布パルス列レーザー光に変換する空間分布パルス列変換装置と、 前記空間分布パルス列レーザー光を集光して同軸上に時間的に等間隔な複数のパルスレーザー光からなる同軸パルス列レーザー光を生成する集光レンズとを備えることを特徴とする電磁波発生装置。

IPC (2件)：

H01S 1/02 ,  H01L 31/026

FI (2件)：

H01S1/02 ,  H01L31/08 L

Fターム (4件)：

5F088AA11 ,  5F088AB07 ,  5F088BA20 ,  5F088DA05

引用特許：

出願人引用 (2件)

• レーザ繰り返し率増倍器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-566933   出願人：オルボテックリミテッド
• パルスレーザ加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-025889   出願人：浜松ホトニクス株式会社