特許
J-GLOBAL ID：201003068039116634
堆積膜形成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-140139
公開番号（公開出願番号）：特開2010-031363
出願日： 2009年06月11日
公開日（公表日）： 2010年02月12日
要約：
【課題】堆積膜形成面内における膜厚や膜特性の均一性に優れ、欠陥の少ない堆積膜を、生産性良く形成できる堆積膜形成装置を提供する。【解決手段】堆積膜形成装置の反応容器は、基体ホルダ107の長手方向に移動または伸縮可能な導電性棒状体123を備えている。基体が装着された基体ホルダ107の長手方向一端側を基体ホルダ保持手段115が保持すると、導電性棒状体123が移動または伸縮して、基体ホルダ保持手段115と逆側となる基体ホルダ107の他端側に位置する反応容器に接触し、電気的に接続される。更に導電性棒状体123は、基体ホルダ保持手段115と逆側となる基体ホルダ107の他端側にも接触しており、基体ホルダ107の長手方向両端は反応容器と電気的に接続状態となる。また、基体ホルダ107の搬入、搬出時には導電性棒状体は格納されるため、基体搬送機構による自動搬送が可能である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
減圧可能な反応容器と、前記反応容器内に設置される、基体を装着するための基体ホルダと、前記基体ホルダの長手方向の一端側を保持し、前記反応容器と電気的に接続された基体ホルダ保持手段とを有し、前記反応容器内に導入された堆積膜形成用の原料ガスを励起させることで励起種を生成して前記基体上に堆積膜を形成する堆積膜形成装置において、
前記反応容器は導電性棒状体を備え、前記導電性棒状体は、前記基体ホルダの長手方向に移動または伸縮して、前記基体ホルダ保持手段が配置されている前記一端側とは逆側となる前記基体ホルダの他端側に位置する前記反応容器に電気的に接続されることを特徴とする堆積膜形成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C16/505
, G03G5/08 360
2H068EA24
, 4K030AA06
, 4K030AA10
, 4K030AA17
, 4K030AA24
, 4K030BA30
, 4K030CA02
, 4K030CA16
, 4K030FA03
, 4K030GA02
, 4K030GA06
, 4K030KA14
, 4K030KA15
, 4K030KA45
, 4K030KA46
, 4K030LA17
