特許

J-GLOBAL ID：201003068067702042

固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 安平 光雄 ,  広藤 裕一
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (4件)： 中島 司朗 ,  小林 国人 ,  川畑 孝二 ,  木村 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-105408
公開番号（公開出願番号）：特開2010-258157
出願日： 2009年04月23日
公開日（公表日）： 2010年11月11日
要約：

【課題】裏面照射型の固体撮像装置において、混色の発生を抑制する。【解決手段】半導体基板内の第1の面側に形成された複数の光電変換部3と、半導体基板の前記第1の面とは反対の第2の面側に、複数の光電変換部3のそれぞれに対応して形成された複数の読み出し回路と、半導体基板の第2の面上に形成された、複数の読み出し回路を用いて複数の光電変換部の電気信号を外部に出力するための積層配線7と、半導体基板内に形成された、各光電変換部の周囲の少なくとも一部を囲む遮光部8とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

半導体基板内の第1の面側に形成された複数の光電変換部と、 前記半導体基板の前記第1の面とは反対の第2の面側に、前記複数の光電変換部のそれぞれに対応して形成された複数の読み出し回路と、 前記半導体基板の第2の面上に形成された、前記複数の読み出し回路を用いて前記複数の光電変換部の電気信号を外部に出力するための積層配線と、 前記半導体基板内に形成された、各光電変換部の周囲の少なくとも一部を囲む遮光部と を備えることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/146 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

H01L27/14 A ,  H01L27/14 D ,  H04N5/335 U ,  H04N5/335 E

Fターム (23件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118FA06 ,  4M118FA28 ,  4M118GA02 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GB13 ,  4M118GB14 ,  4M118GB17 ,  4M118GB19 ,  4M118GB20 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GC17 ,  4M118GD04 ,  5C024CX01 ,  5C024CY47 ,  5C024GX03 ,  5C024GX24 ,  5C024GY31