特許
J-GLOBAL ID：201003068287018630
インターフェース、非真空環境内で物体を観察する方法、および走査型電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
本城 雅則
, 本城 吉子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-534051
公開番号（公開出願番号）：特表2010-509709
出願日： 2007年10月23日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：
インターフェース、走査型電子顕微鏡、および非真空環境内に配置される物体を観察する方法が提供される。本方法は、真空環境内で発生される少なくとも1つの電子ビームに、アパーチャ・アレイの中から少なくとも1つのアパーチャ、および少なくとも1つのアパーチャを密閉する少なくとも1つの超薄膜を通過させる段階であって、少なくとも1つの電子ビームが物体の方に向けられ、少なくとも1つの超薄膜が真空環境と非真空環境との間の圧力差に耐える段階と、少なくとも1つの電子ビームと物体との間の相互作用に応答して発生した粒子を検出する段階と、を含む。
請求項（抜粋）：
非真空環境内に配置される物体を観察する方法において、
真空環境内で発生される少なくとも1つの電子ビームに、アパーチャ・アレイの中から少なくとも1つのアパーチャ、および前記少なくとも1つのアパーチャを密閉する少なくとも1つの超薄膜を通過させる段階であって、前記少なくとも1つの電子ビームが前記物体の方に向けられ、前記少なくとも1つの超薄膜は前記真空環境と前記非真空環境との間の圧力差に耐える、段階と、
前記少なくとも1つの電子ビームと前記物体との間の相互作用に応答して発生した粒子を検出する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
IPC (3件)：
H01J 37/18
, H01J 37/28
, H01J 37/252
H01J37/18
, H01J37/28 X
, H01J37/28 Z
, H01J37/28 B
, H01J37/252 A
, H01J37/252 Z
5C033KK09
, 5C033PP08
, 5C033RR10
, 5C033UU10
