特許

J-GLOBAL ID：201003068836416767

セラミックスシート及びその製造方法

発明者： 横山 昌平 ,  小林 伸行 ,  七瀧 努
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人アイテック国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-156928
公開番号（公開出願番号）：特開2010-132528
出願日： 2009年07月01日
公開日（公表日）： 2010年06月17日
要約：

【課題】作製時のエネルギ消費量をより低減させると共に、密度を高め、シートに含まれる結晶の配向度をより高める。【解決手段】セラミックスシート20は、一般式ABO3で表され揮発成分を含む酸化物を主成分とする無機粒子をA/B値が1.05以上となるように配合し、シート厚さが10μm以下の自立した平板状の成形体に成形し、この成形体を該成形体と実質的に反応しない不活性層に隣接させ又は、この成形体のまま揮発成分が揮発する温度以上において30°C/分以上の昇温速度で焼成して作製されている。このセラミックスシート20は、シート厚さが10μm以下に形成され、シート面に特定の結晶面を含んだ結晶粒子をシート厚さ方向に実質的に1個有し、全体の面積に占める結晶粒子の面積の割合を密度(%)としたときに、この密度が85%以上であり、シートのロットゲーリング法の配向度が40%以上である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

自立した平板状のセラミックスシートであって、 シート厚さが30μm以下に形成され、 シート面に特定の結晶面を含んだ結晶粒子をシート厚さ方向に実質的に1個有し、 全体の面積に占める前記結晶粒子の面積の割合を密度(%)としたときに、該密度が85%以上であり、 前記シートのロットゲーリング法の配向度が40%以上である、 セラミックスシート。

IPC (4件)：

C04B 35/622 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24 ,  C04B 35/64

FI (7件)：

C04B35/00 E ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 A ,  C04B35/64 C ,  C04B35/64 G ,  C04B35/64 J

Fターム (19件)：

4G030AA02 ,  4G030AA03 ,  4G030AA04 ,  4G030AA07 ,  4G030AA16 ,  4G030AA17 ,  4G030AA20 ,  4G030AA21 ,  4G030AA29 ,  4G030AA30 ,  4G030AA32 ,  4G030AA40 ,  4G030AA43 ,  4G030BA10 ,  4G030CA02 ,  4G030CA08 ,  4G030GA03 ,  4G030GA20 ,  4G030GA27