特許

J-GLOBAL ID：201003068854183842

窒化ガリウム結晶及びウェハ並びに製造方法

発明者： デヴェリン,マーク,ピー ,  パーク,ドン-シル ,  ルブフ,スティーブン,エフ ,  ロウランド,ラリー,ビー ,  ナラン,クリスティ,ジェイ ,  ヒュイコン,ホン ,  アーサー,ステファン,ディー ,  サンドヴィク,ピーター,エム
出願人/特許権者： モメンティブ パフォーマンス マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-537166
公開番号（公開出願番号）：特表2010-509178
出願日： 2007年11月09日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：

窒化ガリウムを含む結晶を開示する。この結晶は、2.75mmより大きい少なくとも1つの次元と約104cm-2未満の転位密度とを有する少なくとも1つの粒子を有し、実質的に傾角境界がない。

請求項（抜粋）：

厚みwを有する窒化ガリウムを含む結晶であって、 前記結晶が、少なくとも1つの粒子を含み、前記少なくとも1つの粒子が、前記厚みwに垂直な面を規定する次元x及びyを有し、2.75mmより大きい少なくとも1つの次元x又はyを有し、約104cm-2未満の転位密度を有し、傾角境界が実質的にない、結晶。

IPC (4件)：

C30B 29/38 ,  C30B 7/10 ,  C01B 21/06 ,  H01L 33/32

FI (4件)：

C30B29/38 D ,  C30B7/10 ,  C01B21/06 A ,  H01L33/00 186

Fターム (15件)：

4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077AB02 ,  4G077AB04 ,  4G077AB09 ,  4G077BE15 ,  4G077CB03 ,  4G077EB01 ,  4G077FJ06 ,  4G077HA01 ,  4G077HA05 ,  4G077HA12 ,  5F041AA40 ,  5F041CA40 ,  5F041CA67

引用特許：

審査官引用 (2件)

• III族元素窒化物単結晶の製造方法およびそれに用いる反応容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-076129   出願人：独立行政法人科学技術振興機構
• 窒化ガリウム結晶、ホモエピタキシャル窒化ガリウムを基材とするデバイス、及びその製造方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-565702   出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ