特許

J-GLOBAL ID：201003069844436226

スパッタリング装置用の交流電源

発明者： 柳谷 好男
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (1件)： 特許業務法人青莪
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-048667
公開番号（公開出願番号）：特開2010-206905
出願日： 2009年03月02日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：

【課題】各電極の極性反転時に発生する過電圧を抑制することで、アーク放電の誘発を防止することができるスパッタリング装置用の交流電源を提供する。【解決手段】直流電力供給源1からの正負の直流出力ライン2a、2b間に、複数のスイッチングトランジスタSW1乃至SW4から構成されるブリッジ回路3を設ける。直流電力供給源1からブリッジ回路3への正負の直流出力ライン2a、2bの少なくとも一方に、直流出力を定電流特性とするインダクタDCLを設け、ブリッジ回路3の入力3a、3bに対して並列にスナバ回路7を設ける。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

直流電力供給源と、この直流電力供給源からの正負の直流出力間に接続された複数のスイッチング素子から構成されるブリッジ回路を備え、前記ブリッジ回路の各スイッチング素子の切り換えにより、プラズマに接触する一対の電極に所定の周波数でバイポーラパルス状に電力を供給するスパッタリング装置用の交流電源において、 前記プラズマのインダクタンス値よりも大きなインダクタンス値を有するインダクタを、前記直流電力供給源から前記ブリッジ回路への正負の直流出力のうち少なくとも一方に設け、 前記ブリッジ回路の入力に対して並列にスナバ回路を設けたことを特徴とするスパッタリング装置用の交流電源。

IPC (4件)：

H02M 1/34 ,  C23C 14/34 ,  H02M 7/538 ,  H05H 1/46

FI (4件)：

H02M1/34 ,  C23C14/34 T ,  H02M7/5387 Z ,  H05H1/46 R

Fターム (13件)：

4K029DC33 ,  4K029EA06 ,  5H007BB11 ,  5H007CA01 ,  5H007CB01 ,  5H007CB05 ,  5H007FA01 ,  5H007FA12 ,  5H007FA20 ,  5H740BA11 ,  5H740BB05 ,  5H740BB10 ,  5H740MM03