特許
J-GLOBAL ID：201003071004624522
板状体の搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
眞下 晋一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-097922
公開番号（公開出願番号）：特開2010-251454
出願日： 2009年04月14日
公開日（公表日）： 2010年11月04日
要約：
【課題】 板状体を確実に保持して搬送することができる板状体の搬送装置を提供する。【解決手段】 板状体を上方から吸着保持する保持部材10と、保持部材10を移動可能に支持する支持部材20とを備える板状体の搬送装置1であって、中空部13は、導入孔11bから導入された圧縮気体の流れを分岐させて各噴射口12aに案内する分岐流路14を備え、分岐流路14は、各分岐点に流入した圧縮気体を2方向に分岐して流出するように形成されており、分岐点への流入方向に対して2つの流出方向が対称である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状体を上方から吸着保持する保持部材と、前記保持部材を移動可能に支持する支持部材とを備える板状体の搬送装置であって、
前記保持部材は、上面側と下面側との間に中空部を有し、上面側には、圧縮気体が導入される導入孔が形成され、下面側には、圧縮空気を噴射する噴射口が前記導入孔を取り囲むように略等間隔で複数形成されており、
前記中空部は、前記導入孔から導入された圧縮気体の流れを分岐させて前記各噴射口に案内する分岐流路を備え、
前記分岐流路は、各分岐点に流入した圧縮気体を2方向に分岐して流出するように形成されており、分岐点への流入方向に対して2つの流出方向が対称であることを特徴とする板状体の搬送装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031FA01
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031GA02
, 5F031GA08
, 5F031GA28
