特許
J-GLOBAL ID：201003072955849768

空間光変調装置の配線構造

発明者：
深谷 康一郎

深谷 康一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ブイ・テクノロジー

株式会社ブイ・テクノロジー について


代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-063888
公開番号（公開出願番号）：特開2010-217469
出願日： 2009年03月17日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：
【課題】複数の光変調素子の各電極に対する配線の引き回しを容易にし、各光変調素子の配列ピッチの狭小化を可能にする。【解決手段】電気光学結晶材料から成る複数の光変調素子6を所定の配列ピッチで並べて備えたデバイスチップ5を有する空間光変調装置の配線構造であって、デバイスチップ5の一面に複数の光変調素子6の並び方向に略直交する方向に延設され、上記並び方向に平行な各光変調素子6の対向面に設けられた一対の電極7に夫々一端を電気的に接続した複数の電極パッド1と、デバイスチップ5を支持する支持基板9の一面に形成され、一端部をデバイスチップ5の複数の電極パッド1に対向させて設けた複数の中継線2と、各電極パッド1と各中継線2の一端部とを電気的にフリップチップ接続する接続部材3と、中継線2の他端部に一端部を電気的に接続させて、回路基板11に多層形成された複数の引出線4と、を備えたものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電気光学結晶材料から成る複数の光変調素子を所定の配列ピッチで並べて備えたデバイスチップを有し、前記複数の光変調素子を個別に駆動制御して射出光をオン・オフする空間光変調装置の配線構造であって、 前記デバイスチップの一面に前記複数の光変調素子の並び方向に略直交する方向に延設され、前記並び方向に平行な前記各光変調素子の対向面に設けられた一対の電極に夫々一端を電気的に接続した複数の電極パッドと、 前記デバイスチップを支持する支持基板の一面に形成され、一端部を前記デバイスチップの前記複数の電極パッドに対向させて設けた複数の中継線と、 前記各電極パッドと前記各中継線の一端部とを電気的にフリップチップ接続する接続部材と、 前記中継線の他端部に一端部を電気的に接続させて、回路基板に多層形成された複数の引出線と、 を備えたことを特徴とする空間光変調装置の配線構造。
IPC (2件)：
G02F 1/03 ,  G03F 7/20
FI (2件)：
G02F1/03 503 ,  G03F7/20 501
Fターム (17件)：
2H079AA02 ,  2H079AA13 ,  2H079BA01 ,  2H079CA02 ,  2H079CA24 ,  2H079DA03 ,  2H079EA11 ,  2H079EA33 ,  2H079EB02 ,  2H079EB12 ,  2H079GA05 ,  2H079HA11 ,  2H079JA05 ,  2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097BB10 ,  2H097GB04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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