特許

J-GLOBAL ID：201003073484261796

投影露光装置

発明者： 小松 宏一郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-063219
公開番号（公開出願番号）：特開2010-219232
出願日： 2009年03月16日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：

【課題】多種のパターンを高精度に露光することが可能な投影露光装置を提供する。【解決手段】投影露光装置1の投影光学系20は、互いに焦点距離の異なる複数の第1対物レンズ22a,22bを備えた対物レンズユニット21と、ステージ10に支持された被露光基板5の表面に対物レンズユニット21の任意の一つの第1対物レンズ22a,22bと協働して空間光変調素子15のパターンの像を投影する第2対物レンズ25とを有し、対物レンズユニット21は、複数の第1対物レンズ22a,22bのうちいずれか一つを選択的に切り替えて光路上に挿入する切替機構40を有し、第2対物レンズ25は光路上に挿入された第1対物レンズに応じて決定されるパターンの投影倍率を変倍可能であり、投影光学系20は、第2対物レンズ25による変倍に拘わらず、投影光学系20の瞳面23と空間光変調素子15との間の距離が一定となるように構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被露光基板を支持するステージと、 所定のパターンを形成可能な空間光変調素子と、 前記ステージに支持された前記被露光基板の表面に前記パターンの像を投影する投影光学系とを備え、 前記投影光学系は、前記ステージと対向するように配設され、互いに焦点距離の異なる複数の第1対物レンズを備えた対物レンズユニットと、前記ステージに支持された前記被露光基板の表面に前記対物レンズユニットの任意の一つの前記第1対物レンズと協働して前記パターンの像を投影する第2対物レンズとを有し、 前記対物レンズユニットは、前記複数の第1対物レンズのうちいずれか一つを選択的に切り替えて光路上に挿入する切替機構を有し、 前記第2対物レンズは、前記光路上に挿入された前記第1対物レンズに応じて決定される前記パターンの投影倍率を変倍可能であり、 前記投影光学系は、前記第2対物レンズによる前記変倍に拘わらず、前記投影光学系の瞳面と前記空間光変調素子との間の距離が一定となるように構成されていることを特徴とする投影露光装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 21/00 ,  G02B 13/00 ,  G02B 13/14

FI (7件)：

H01L21/30 515D ,  H01L21/30 529 ,  H01L21/30 516A ,  G03F7/20 521 ,  G02B21/00 ,  G02B13/00 ,  G02B13/14

Fターム (22件)：

2H052AB01 ,  2H087KA09 ,  2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA04 ,  2H087PA05 ,  2H087PA20 ,  2H087PB08 ,  2H087QA03 ,  2H087QA06 ,  2H087QA17 ,  2H087QA22 ,  2H087QA25 ,  2H087QA32 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087UA02 ,  5F046BA06 ,  5F046BA07 ,  5F046CB02 ,  5F046CB25 ,  5F046DA13