特許
J-GLOBAL ID：201003074371261389

慣性センサ、その駆動方法およびその製造方法

発明者：
松本 勇樹

松本 勇樹 について

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福元 康司

福元 康司 について

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安川 浩永

安川 浩永 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-245515
公開番号（公開出願番号）：特開2010-078397
出願日： 2008年09月25日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：
【課題】複数の振動子を連成駆動させて1つの基準振動のみで3軸の角速度を検出するセンサを実現し、慣性センサの小型化を可能にする。【解決手段】固定部31と、前記固定部13に弾性支持体31〜34を介して支持される第1振動子21、第2振動子22、第3振動子23および第4振動子24を有し、前記第1振動子21および前記第3振動子23はX軸上に該X軸の原点Oに対して対称な位置に配置され、前記第2振動子22および前記第4振動子24は前記X軸に直交するY軸上に前記X軸の原点Oと同位置のY軸の原点Oに対して対称な位置に配置され、前記第1振動子21、前記第2振動子22、前記第3振動子23および前記第4振動子24は隣り合う振動子間を弾性連結体41〜44により支持されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
固定部と、 前記固定部に弾性支持体を介して支持される第1振動子、第2振動子、第3振動子および第4振動子を有し、 前記第1振動子および前記第3振動子はX軸上に該X軸の原点に対して対称な位置に配置され、 前記第2振動子および前記第4振動子は前記X軸に直交するY軸上に前記X軸の原点と同位置のY軸の原点に対して対称な位置に配置され、 前記第1振動子、前記第2振動子、前記第3振動子および前記第4振動子は隣り合う振動子間を弾性連結体により支持されている 慣性センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z
Fターム (28件)：
2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB13 ,  2F105BB14 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD06 ,  2F105CD07 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA08 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-074460   出願人：アイシン精機株式会社
  • 2軸振動ジャイロ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-170745   出願人：キヤノン株式会社

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