特許

J-GLOBAL ID：201003075600088064

導電フィルムの欠点検査方法および欠点検査装置

発明者： 八城 次男
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-088871
公開番号（公開出願番号）：特開2010-169649
出願日： 2009年04月01日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：

【課題】 導電層を形成してなる導電フィルムの検査を非接触で精度良く行うことができる、導電フィルムの欠点検査方法および欠点検査装置を提供すること。【解決手段】 導電層を有する導電フイルムにマイクロ波を照射するマイクロ波照射手段と、マイクロ波が照射された導電フイルムの表面の温度分布を測定する表面温度分布測定手段と、前記表面温度分布測定手段の測定結果に基づき導電フイルムの導電層の欠点を検出する良否判定手段とを備え、導電層を有する導電フィルムにマイクロ波を照射し、導電層を加熱し、導電フィルムの表面の温度分布を測定することにより、導電フイルムの導電層の欠点を検出する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

導電層を有する導電フィルムにマイクロ波を照射し、 導電層を加熱し、 導電フィルムの表面の温度分布を測定することにより、 導電フイルムの導電層の欠点を検出することを特徴とする導電フィルムの欠点検査方法。

IPC (3件)：

G01N 25/18 ,  G01J 5/48 ,  G01J 5/00

FI (3件)：

G01N25/18 A ,  G01J5/48 A ,  G01J5/00 101B

Fターム (16件)：

2G040AA06 ,  2G040AB08 ,  2G040BA27 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040DA05 ,  2G040DA13 ,  2G040DA15 ,  2G040EA04 ,  2G040EB02 ,  2G040GA07 ,  2G040ZA05 ,  2G066AC20 ,  2G066BA60 ,  2G066CA02 ,  2G066CA11