特許
J-GLOBAL ID：201003075981625729
非接触ワーク支持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
松浦 孝
, 小倉 洋樹
, 野中 剛
, 虎山 滋郎
, 坪内 伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-109598
公開番号（公開出願番号）：特開2010-254463
出願日： 2009年04月28日
公開日（公表日）： 2010年11月11日
要約：
【課題】ワーク自体や粉塵等を吹き上げることなく、ワークを浮上させる。【解決手段】非接触ワーク支持装置10は、開口部12Eが上方に向けられたハウジング11を備える。圧力気体を供給流路19を介してハウジング11内部に送る。ハウジング11内部において、圧力気体は、螺旋流路形成部12Bの螺旋流路、縮径部12C、円筒状の螺旋流形成部12Dを通って、開口部12Eから旋回気流として噴出する。螺旋気流は、ワークWの下面に作用されて、ワークWを浮上させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
開口が設けられたハウジングと、前記ハウジングの内周面の周方向に沿って前記ハウジングの軸方向の成分を有する流速で、気体を前記ハウジング内部に噴出して、前記開口に向けて流れる旋回気流を発生させる流路とを備え、前記開口から噴出する前記旋回気流を、ワークの下面又は側面に作用させて前記ワークを支持する非接触ワーク支持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G49/06 A
, H01L21/68 A
5F031CA05
, 5F031GA63
, 5F031LA03
, 5F031PA26
