荷電粒子測定装置およびその測定方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-130531
公開番号（公開出願番号）：特開2010-276519
出願日： 2009年05月29日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

【課題】測定時間が短く、且つ、バックグラウンドの変動に起因した誤差が生じないα線の測定が可能な荷電粒子測定装置を提供する。【解決手段】荷電粒子測定装置は、試料から放出されるα線とバックグラウンドの双方を測定するための試料測定用α線検出器と、バックグラウンドを測定するためのバックグラウンド測定用α線検出器と、試料から放出されるα線がバックグラウンド測定用α線検出器に入射されることを阻止するように構成されたα線遮蔽板と、前記試料測定用α線検出器と前記バックグラウンド測定用α線検出器から同時刻にて測定した測定値を入力してα線の正味測定値を演算するα線測定装置と、を有する。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

真空排気されることができる測定容器と、前記測定容器内に配置された試料から放出されるα線とバックグラウンドの双方を測定するための試料測定用α線検出器と、バックグラウンドを測定するためのバックグラウンド測定用α線検出器と、前記試料から放出されるα線が前記バックグラウンド測定用α線検出器に入射されることを阻止するように構成されたα線遮蔽板と、前記試料測定用α線検出器と前記バックグラウンド測定用α線検出器から同時刻にて測定した測定値を入力してα線の正味測定値を演算するα線測定装置と、を有し、前記α線測定装置は、前記試料測定用α線検出器によって検出されたα線とバックグラウンドの双方の測定値から、前記バックグラウンド測定用α線検出器によって検出されたバックグラウンドの測定値を減算することにより、前記試料から放出されるα線の正味の測定値を算出することを特徴とする荷電粒子測定装置。

IPC (3件)：

G01T 1/167 , G01T 1/24 , G21K 1/04

FI (3件)：

G01T1/167 H , G01T1/24 , G21K1/04 S

Fターム (10件)：

2G088EE08 , 2G088FF06 , 2G088FF15 , 2G088GG02 , 2G088GG21 , 2G088JJ09 , 2G088JJ29 , 2G088KK07 , 2G088KK29 , 2G088LL02

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