ペリクル収納容器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：アイアット国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-311456
公開番号（公開出願番号）：特開2010-134280
出願日： 2008年12月05日
公開日（公表日）： 2010年06月17日
要約：

【課題】ペリクル収納容器の軽量化と共に、ペリクルの品質を高く維持できるペリクル収納容器を提供すること。【解決手段】ペリクル膜およびペリクル膜を支持する支持枠を有するペリクルを、トレイ4と当該トレイ4と対向配置されるカバー1Aの間に形成される空間に収納して輸送するためのペリクル収納容器1であって、支持枠を保持するための保持部材2を備え、保持部材2は、弾性部材3を介してトレイ4に配置されているペリクル収納容器1としている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ペリクル膜および当該ペリクル膜を支持する支持枠を有するペリクルを、トレイと当該トレイと対向配置されるカバーの間に形成される空間に収納して輸送するためのペリクル収納容器であって、上記支持枠を保持するための保持部材を備え、上記保持部材は、弾性部材を介して上記トレイに配置されていることを特徴とするペリクル収納容器。

IPC (3件)：

G03F 1/14 , H01L 21/027 , B65D 85/86

FI (3件)：

G03F1/14 J , H01L21/30 502P , B65D85/38 R

Fターム (15件)：

2H095BC31 , 3E096AA01 , 3E096BA08 , 3E096BB03 , 3E096CA02 , 3E096DA14 , 3E096DA25 , 3E096DA30 , 3E096DB01 , 3E096EA02X , 3E096EA02Y , 3E096FA09 , 3E096FA10 , 3E096FA40 , 3E096GA13

引用特許：

出願人引用 (1件)

プレーナ型アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-319906 出願人：日本信号株式会社

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