特許
J-GLOBAL ID:201003077742726630
有機薄膜トランジスタおよびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-003943
公開番号(公開出願番号):特開2010-161312
出願日: 2009年01月09日
公開日(公表日): 2010年07月22日
要約:
【課題】閾値電圧以外の電流特性に大きな影響を与えることなく、選択的に閾値電圧を制御できる有機薄膜トランジスタを提供する。【解決手段】本発明の有機薄膜トランジスタ100は、基板1上に、ゲート電極2と、ゲート絶縁膜3と、ソース電極4と、ドレイン電極5と、有機半導体層7とが形成されており、さらに、ソース電極4表面に、ベンゼンチオール化合物からなるチオール化合物層8が形成され、ドレイン電極5の表面に、ベンゼンチオール化合物からなるチオール化合物層9が形成されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上に、ゲート電極と、ゲート絶縁膜と、ソース電極と、ドレイン電極と、有機半導体層とを備える有機薄膜トランジスタであって、
上記ソース電極およびドレイン電極における、上記有機半導体層と電気的に接する部分に、ベンゼン環に結合した電子供与性基を有するベンゼンチオール化合物からなるチオール化合物層が形成されていることを特徴とする有機薄膜トランジスタ。
IPC (5件):
H01L 29/786
, H01L 21/28
, H01L 29/417
, H01L 51/05
, H01L 51/30
FI (8件):
H01L29/78 616U
, H01L29/78 616V
, H01L29/78 618B
, H01L21/28 301B
, H01L29/50 M
, H01L29/28 100A
, H01L29/28 250E
, H01L29/78 617U
Fターム (54件):
4M104AA09
, 4M104AA10
, 4M104BB01
, 4M104BB02
, 4M104BB04
, 4M104BB06
, 4M104BB07
, 4M104BB08
, 4M104BB09
, 4M104BB14
, 4M104BB16
, 4M104BB17
, 4M104BB36
, 4M104CC01
, 4M104CC05
, 4M104DD33
, 4M104DD34
, 4M104DD37
, 4M104DD43
, 4M104DD51
, 4M104DD68
, 4M104DD89
, 4M104FF19
, 4M104GG09
, 4M104GG14
, 5F110AA08
, 5F110CC03
, 5F110CC05
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD03
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE06
, 5F110EE09
, 5F110EE44
, 5F110FF01
, 5F110FF02
, 5F110FF23
, 5F110FF27
, 5F110FF28
, 5F110FF29
, 5F110GG05
, 5F110GG28
, 5F110GG42
, 5F110GG57
, 5F110HK01
, 5F110HK02
, 5F110HK21
, 5F110HK32
, 5F110HK33
, 5F110HK42
, 5F110QQ14
引用特許: