特許
J-GLOBAL ID：201003078350295823
ワーク分割方法およびテープ拡張装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-332043
公開番号（公開出願番号）：特開2010-153692
出願日： 2008年12月26日
公開日（公表日）： 2010年07月08日
要約：
【課題】反り成分を含むワークをテープ拡張によってチップに分割しても、チップの全面をテープに貼着された状態として反りチップ3Aを解消する。【解決手段】ウェーハ1の裏面に貼着したテープを拡張してウェーハ1を多数のチップに分割した後、端部がテープから剥離して反りチップ3Aとなったチップを表面側から押圧プレート53で押圧して平らにし、DAFを介してチップの裏面全面をテープに密着させる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
開口部を有するフレームを保持する保持手段と、
前記フレームの前記開口部に、貼着されたテープを介して支持され、分割予定ラインによって複数のチップが形成された板状のワークを、前記フレームに対して該ワークの面に直交する方向に相対的に移動させるテープ拡張手段とを含むテープ拡張装置により、該ワークを前記分割予定ラインに沿って分割するワーク分割方法であって、
前記ワークは内部応力による反り成分を含んでおり、
前記テープ拡張手段によって前記テープとともに前記ワークを拡張することにより、該ワークを前記分割予定ラインに沿って複数の反りチップに分割するワーク分割工程と、
該反りチップを前記テープに向けて押圧して該テープに該反りチップのテープ貼着面全面を密着させて貼着させるチップ貼着工程と、を含むことを特徴とするワーク分割方法。
IPC (2件)：
H01L 21/301
, H01L 21/683
H01L21/78 X
, H01L21/78 M
, H01L21/78 L
, H01L21/68 N
5F031CA02
, 5F031CA13
, 5F031DA13
, 5F031DA15
, 5F031HA78
, 5F031MA22
, 5F031MA23
, 5F031MA34
, 5F031MA35
, 5F031MA37
, 5F031MA38
, 5F031MA39
