特許
J-GLOBAL ID：201003079193004964
ターボ分子ポンプ装置およびその制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-087036
公開番号（公開出願番号）：特開2010-236468
出願日： 2009年03月31日
公開日（公表日）： 2010年10月21日
要約：
【課題】回生ブレーキ抵抗の設置スペース効率を向上して、電源装置の小型化を図る。【解決手段】ターボ分子ポンプは、ロータに設けられた回転翼、回転翼と協働して真空排気する固定翼、およびロータを駆動するモータを少なくとも有するポンプ本体と、モータを回生駆動するときに発生する回生電流を回生ブレーキ抵抗14hで熱エネルギに変換するモータ駆動回路を含む制御装置14と、制御装置14を冷却する冷却装置13とを備える。回生ブレーキ抵抗14hを棒状発熱抵抗体とし、この発熱抵抗体を、制御装置筐体140が冷却装置13と接する端部14aの内周面に沿って引き回す。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
ロータに設けられた回転翼と、前記回転翼と協働して真空排気する固定翼と、前記ロータを駆動するモータとを有するポンプ本体と、
制御装置筐体内に収容され、前記モータを回生駆動するときに発生する回生電流を回生ブレーキ抵抗で熱エネルギに変換するモータ駆動回路を含む制御装置と、
前記ポンプ本体と前記制御装置との間に介在して前記制御装置を冷却する冷却装置とを備え、
前記回生ブレーキ抵抗を棒状発熱抵抗体とし、この発熱抵抗体を、前記制御装置筐体が前記冷却装置と接する端部の内周面に沿って引き回して配設することを特徴とするターボ分子ポンプ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04D19/04 H
, H02P3/18 101A
3H131AA02
, 3H131BA02
, 3H131BA11
, 3H131CA40
, 3H131CA41
, 5H530AA05
, 5H530BB35
, 5H530CD21
, 5H530CD34
, 5H530CE16
, 5H530DD03
, 5H530DD22
, 5H530EE02
, 5H530GG01
, 5H530GG05
