特許

J-GLOBAL ID：201003079953594830

エッチング液再生システム

発明者： 東 昇 ,  苅山 直美
出願人/特許権者： 倉敷紡績株式会社 ,  株式会社ケミカルアートテクノロジー
代理人 (6件)： 高島 一 ,  土井 京子 ,  鎌田 光宜 ,  田村 弥栄子 ,  山本 健二 ,  村田 美由紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-112286
公開番号（公開出願番号）：特開2010-263053
出願日： 2009年05月01日
公開日（公表日）： 2010年11月18日
要約：

【課題】エッチング処理が行われる処理槽内のエッチング液中の溶存物質の含有量が精度良く一定にコントロールされるようにエッチング液を再生できるエッチング液再生システムを提供すること。【解決手段】エッチング槽又は循環経路内のエッチング液に溶存する物質の含有量を測定する溶存物質含有量測定手段310を設け、溶存物質含有量測定手段310で測定される溶存物質の含有量に基いてエッチング液再生手段からエッチング槽へ戻される再生エッチング液の液量を決定する。溶存物質含有量測定手段310はエッチング液Mとの界面をなすプリズム312の境界面312bに光源からの光を入射させて、該プリズム境界面312bからの反射光R2の反射度を検出する光学部1と、該光学部1の検出信号に基づいて、エッチング液中の溶存物質含有量を算出するデータ処理部2とで構成する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被エッチング材料を没入浸漬させて収容するエッチング槽内の高温エッチング液を槽外に循環経路を通して取り出し、該循環経路の経路途中にて濾過、再加熱しながら槽内に戻すエッチング液の圧送循環を繰り返しながら、前記被エッチング材料にエッチング処理を施すエッチング処理装置に付設されるエッチング液の再生システムであって、 前記エッチング槽、又は、循環経路の経路途中から取り出したエッチング液中の溶存物質をエッチング液から強制的に分離し、溶存物質が除去又は減量された再生エッチング液を生成するエッチング液再生手段と、 前記エッチング槽又は循環経路内のエッチング液に溶存する物質の含有量を測定する溶存物質含有量測定手段と、 前記溶存物質含有量測定手段で測定されたエッチング液中の溶存物質の含有量に基いて、前記エッチング液再生手段からエッチング槽へ戻されるエッチング液の量を決定する制御手段とを有し、 前記溶存物質含有量測定手段が、プリズムとして、その屈折率(N1)とエッチング液の屈折率(N2)の差の絶対値(|N1-N2|)が0.30以下となるプリズムを使用し、エッチング液との界面をなすプリズムの境界面に光源からの光を入射させて、該プリズム境界面からの反射光の反射度を検出する光学部と、該光学部の検出信号に基づいて、上記エッチング液中の溶存物質含有量を算出するデータ処理部とを具備することを特徴とする、エッチング液再生システム。

IPC (1件)：

H01L 21/306

FI (2件)：

H01L21/306 J ,  H01L21/306 E

Fターム (5件)：

5F043AA35 ,  5F043BB23 ,  5F043EE23 ,  5F043EE29 ,  5F043EE33