特許

J-GLOBAL ID：201003081295131248

角速度センサ

発明者： 持田 洋一
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-056713
公開番号（公開出願番号）：特開2010-210407
出願日： 2009年03月10日
公開日（公表日）： 2010年09月24日
要約：

【課題】 2軸周りの角速度を高精度かつ高感度に検出する。【解決手段】 基板2の表面には、駆動質量部4〜7を基板2から離間して設ける。駆動質量部4〜7は中心点Oに対して点対称な位置に配置する。駆動質量部4〜7は連結梁8を用いて互いに連結すると共に、連結梁8には検出部13〜16を接続する。検出部13〜16は、2軸方向に捩れ変形する検出梁17〜20を用いて基板2上の支持部3に支持される。そして、周方向で隣合う駆動質量部4〜7は、振動発生部9〜12によって互いに逆位相で振動する。この状態で、角速度Ω1,Ω2が加わると、検出部13〜16は、X軸、Y軸を中心として基板2の厚さ方向に変位して振動する。変位検出部21〜24は、検出部13〜16の厚さ方向の変位を検出する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板と、 該基板と隙間をもって対向し、中心部に対して点対称な位置に配置された4つの駆動質量部と、 前記4つの駆動質量部の支点近傍を互いに連結し、前記基板と平行な状態で中心部側に位置する支点周りに該各駆動質量部を振動可能に支持する連結梁と、 前記4つの駆動質量部を前記支点を中心として中心部を取囲む周方向に向けて振動させる駆動手段と、 前記4つの駆動質量部の間にそれぞれ位置して前記連結梁に接続された4つの検出部と、 前記基板の中心部に位置する固定部と前記連結梁との間を接続し、前記基板と平行な2つの軸周りに前記連結梁、駆動質量部および検出部を振動可能に支持する検出梁と、 前記4つの検出部が2つの軸周りに振動したときに、前記各検出部が前記基板の厚さ方向に変位するのをそれぞれ検出する4つの変位検出手段とによって構成してなる角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

Fターム (8件)：

2F105BB02 ,  2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13