回路パターン検査装置および検査方法およびテストパターン

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：廣幸正樹 , 石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-320471
公開番号（公開出願番号）：特開2010-145145
出願日： 2008年12月17日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：

【課題】回路パターンの欠陥検査方法では、基準となるパターンの画像データを膨張・収縮といった操作を行い、許容できる最大の寸法と最小の寸法を有するマスタパターンを作製し、被検査物から得た画像データをこのマスタパターンと比較することで欠陥を発見する。このマスタパターンを作製する膨張・収縮という画像処理においては、画素毎にその周囲の画素を加減する処理が行われるが、様々な線幅が含まれる基準パターンの場合は線幅の比率によって一定の割合で膨張・収縮することが困難であった。【解決手段】基準パターンに属する画素に背景からの距離データを付与し、周辺の画素に自分より大きな距離データがなくなるまで画素を削除し、基準パターンの骨格を代表する骨格パターンを作製する。この骨格パターンに属する画素が有する距離データに所定倍率をかけた範囲にある画素をマスタパターンとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

マスタパターンと検査対象物の画像データを比較し欠陥を検出するパターン検査方法であって、背景パターンと製品パターンを有する基準パターンを距離変換処理し基準距離パターンを得る第1の工程と、前記基準距離パターンを骨格化処理し基準骨格パターンを得る第2の工程と、前記基準骨格パターンを所定係数倍する距離で逆距離変換処理しマスタパターンを得る第3の工程と、前記マスタパターンと検査対象パターンを比較して差異を検出する第4の工程を有するパターン検査方法。

IPC (4件)：

G01N 21/956 , G01B 11/24 , H01L 21/66 , G06T 1/00

FI (4件)：

G01N21/956 Z , G01B11/24 F , H01L21/66 J , G06T1/00 305A

Fターム (56件)：

2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC01 , 2F065CC17 , 2F065DD06 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065GG03 , 2F065GG07 , 2F065GG17 , 2F065HH14 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL01 , 2F065LL59 , 2F065QQ04 , 2F065QQ06 , 2F065QQ08 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065QQ31 , 2F065RR05 , 2G051AA65 , 2G051AB07 , 2G051AC21 , 2G051BA05 , 2G051BA06 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051CB05 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051ED03 , 2G051ED05 , 4M106AA01 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20 , 5B057AA03 , 5B057CA07 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CE12 , 5B057CF01 , 5B057DA03 , 5B057DA06 , 5B057DB02 , 5B057DC33

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開昭63-19541号公報

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