特許

J-GLOBAL ID：201003081711023166

沸騰を用いた薄型熱拡散液体チャンバ

発明者： ユ,スン ムン ,  キム,ジュ ハン ,  クワーク,サン エム. ,  キム,ジェシー ジェジン
出願人/特許権者： ヴァプロ,インク. ,  ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム
代理人 (3件)： 柏原 三枝子 ,  高橋 剛一 ,  柴田 雅仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-501068
公開番号（公開出願番号）：特表2010-522996
出願日： 2008年03月14日
公開日（公表日）： 2010年07月08日
要約：

システムおよび製造方法は、装置を冷却するヒートスプレッダのために開示される。ヒートスプレッダは、液体を有するチャンバを規定する第1と第2の近接対向面と;液体が沸騰する間、熱分配のため液体のフローパターンを誘発するチャンバに取り付けられる1またはそれ以上の構造体とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

装置を冷却するヒートスプレッダであって、液体を含むチャンバを規定する第1と第2の近接対向面と; 前記装置を冷却するため、前記液体が沸騰する間、液体のフローパターンを誘発すべく前記チャンバに取り付けられる1またはそれ以上の構造体とを具えることを特徴とするヒートスプレッダ。

IPC (2件)：

H01L 23/427 ,  F28D 15/02

FI (2件)：

H01L23/46 A ,  F28D15/02 M

Fターム (3件)：

5F136CB08 ,  5F136CB27 ,  5F136CB28