特許

J-GLOBAL ID：201003082165207486

薄膜トランジスタ及び該薄膜トランジスタを有する表示装置

発明者： 神保 安弘
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-120930
公開番号（公開出願番号）：特開2010-004027
出願日： 2009年05月19日
公開日（公表日）： 2010年01月07日
要約：

【課題】電気的特性が良好な薄膜トランジスタを作製することを課題とする。【解決手段】ゲート電極層と、ゲート電極層を覆って設けられた第1の絶縁層と、ゲート電極層と少なくとも一部が重畳し、離間して設けられた、ソース領域及びドレイン領域を形成する一対の不純物半導体層と、第1の絶縁層上に、ゲート電極層と少なくとも一部が重畳し、且つ一対の不純物半導体層の少なくとも一方と重畳せずしてチャネル形成領域の一部に設けられた微結晶半導体層と、第1の絶縁層と微結晶半導体層との間に接して設けられた第2の絶縁層と、第1の絶縁層上に第2の絶縁層及び微結晶半導体層を覆って設けられた非晶質半導体層と、を有し、第1の絶縁層は窒化シリコン層であり、第2の絶縁層は酸化窒化シリコン層である薄膜トランジスタとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ゲート電極層と、 前記ゲート電極層を覆って設けられた第1の絶縁層と、 前記ゲート電極層と少なくとも一部が重畳し、離間して設けられた、ソース領域及びドレイン領域を形成する一対の不純物半導体層と、 前記第1の絶縁層上に、前記ゲート電極層と少なくとも一部が重畳し、且つ前記一対の不純物半導体層と重畳せずしてチャネル長方向の一部に設けられた微結晶半導体層と、 前記第1の絶縁層と前記微結晶半導体層との間に接して設けられた第2の絶縁層と、 前記第1の絶縁層上に前記第2の絶縁層及び前記微結晶半導体層を覆って設けられた非晶質半導体層と、を有し、 前記第1の絶縁層は窒化シリコン層であり、前記第2の絶縁層は酸化窒化シリコン層であることを特徴とする薄膜トランジスタ。

IPC (7件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/417 ,  G02F 1/136

FI (8件)：

H01L29/78 617U ,  H01L29/78 618E ,  H01L29/78 617S ,  H01L29/78 616T ,  H01L29/58 G ,  H01L21/28 301A ,  H01L29/50 M ,  G02F1/1368

Fターム (128件)：

2H092GA48 ,  2H092GA50 ,  2H092HA25 ,  2H092JA26 ,  2H092JA33 ,  2H092JA35 ,  2H092JA36 ,  2H092JA38 ,  2H092JA39 ,  2H092JA40 ,  2H092JB24 ,  2H092JB52 ,  2H092JB57 ,  2H092JB58 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA10 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KB22 ,  2H092KB24 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA19 ,  2H092MA27 ,  2H092MA29 ,  2H092NA21 ,  2H092NA22 ,  2H092NA27 ,  2H092PA03 ,  2H092PA04 ,  2H092PA08 ,  2H092PA09 ,  2H092PA11 ,  2H092RA10 ,  4M104AA01 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB03 ,  4M104BB04 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB39 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD51 ,  4M104DD52 ,  4M104DD53 ,  4M104DD55 ,  4M104DD62 ,  4M104EE14 ,  4M104EE17 ,  4M104FF01 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH03 ,  4M104HH16 ,  5F110AA01 ,  5F110AA06 ,  5F110AA07 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE15 ,  5F110EE23 ,  5F110EE42 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF07 ,  5F110FF09 ,  5F110FF12 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110FF36 ,  5F110GG02 ,  5F110GG06 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG16 ,  5F110GG19 ,  5F110GG22 ,  5F110GG25 ,  5F110GG30 ,  5F110GG32 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG58 ,  5F110HK01 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK15 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK22 ,  5F110HK25 ,  5F110HK27 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK34 ,  5F110HK42 ,  5F110HM02 ,  5F110HM12 ,  5F110NN02 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ25