特許

J-GLOBAL ID：201003082226101589

基板検査装置および基板検査方法

発明者： 佐藤 由行
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (5件)： 須山 佐一 ,  須山 英明 ,  川原 行雄 ,  山下 聡 ,  熊井 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-099274
公開番号（公開出願番号）：特開2010-249656
出願日： 2009年04月15日
公開日（公表日）： 2010年11月04日
要約：

【課題】検査する領域の的確な決定を容易とする基板検査装置および基板検査方法を提供する。【解決手段】基板検査装置は,基板のパターンを記憶するパターン記憶部と,前記基板に検査ビームを照射する照射系と,前記基板からの前記検査ビームの透過,反射,または散乱を受け取り,対応する信号を出力する受取部と,互いに並列な複数の走査線に沿って,前記基板上で前記検査ビームを走査する走査部と,前記複数の走査線にそれぞれ対応する複数の領域に前記基板を区分する領域分割部と,前記複数の領域それぞれから,前記パターンの所定の特徴量を抽出する特徴量抽出部と,前記抽出される特徴量に基づき,前記複数の領域から検査する領域を決定する検査領域決定部と,を具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板のパターンを記憶するパターン記憶部と, 前記基板に検査ビームを照射する照射系と, 前記基板からの前記検査ビームの透過,反射,または散乱を受け取り,対応する信号を出力する受取部と, 互いに並列な複数の走査線に沿って,前記基板上で前記検査ビームを走査する走査部と, 前記複数の走査線にそれぞれ対応する複数の領域に前記基板を区分する領域分割部と, 前記複数の領域それぞれから,前記パターンの所定の特徴量を抽出する特徴量抽出部と, 前記抽出される特徴量に基づき,前記複数の領域から検査する領域を決定する検査領域決定部と, を具備することを特徴とする基板検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (21件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051AC04 ,  2G051AC12 ,  2G051BC06 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051ED01 ,  2G051ED04 ,  2G051ED05 ,  2G051FA02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106DB02 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21