特許

J-GLOBAL ID：201003083268820727

機械的及び電気的機能と分離された光学的機能を有する微小電気機械デバイス

発明者： クラレンス・チュイ ,  ウィリアム・カミングス ,  ブライアン・ジェイ・ガリー ,  リオール・コグト ,  ミン-ホウ・タン ,  イェー-ジゥン・タン ,  チー-ウェイ・チャン ,  デニス・エンディッシュ
出願人/特許権者： クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド
代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-515043
公開番号（公開出願番号）：特表2010-532499
出願日： 2008年06月24日
公開日（公表日）： 2010年10月07日
要約：

微小電気機械(MEMS)装置(1300)が、基板(20)、該基板(20)上の可動素子(1340)、及び該可動素子(1340)上の作動電極(142)を備える。可動素子(1340)が、可変層(1302)及び反射素子(1314)を備える。可変層(1302)が、反射素子(1314)から分離される。

請求項（抜粋）：

基板; 前記基板上の可動素子;及び 前記可動素子上の作動電極; を備え、 前記可動素子が、可変層及び反射素子を備え、 前記可変層が、前記反射素子から分離されていることを特徴とする微小電気機械(MEMS)装置。

IPC (3件)：

G02B 26/02 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00

FI (3件)：

G02B26/02 E ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

Fターム (36件)：

2H141MA05 ,  2H141MA22 ,  2H141MB28 ,  2H141MB63 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141MD31 ,  2H141MD38 ,  2H141ME09 ,  2H141ME29 ,  2H141MF01 ,  2H141MF06 ,  2H141MF17 ,  2H141MF22 ,  2H141MG03 ,  2H141MG04 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ14 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ20 ,  3C081BA28 ,  3C081BA33 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081BA72 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081DA06 ,  3C081DA10 ,  3C081DA11 ,  3C081DA24 ,  3C081DA45 ,  3C081EA08 ,  3C081EA11