特許

J-GLOBAL ID：201003083940795574

ステージ装置、それを用いた露光装置及びデバイスの製造方法

発明者： 吉田 貴裕
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高岡 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-110572
公開番号（公開出願番号）：特開2010-262969
出願日： 2009年04月30日
公開日（公表日）： 2010年11月18日
要約：

【課題】高加速化を実現しつつ、小型化、軽量化をも体現したステージ装置を提供する。【解決手段】第1可動部32と第2可動部33とを含み、定盤30に対して移動するステージと、第1可動部32に対して第2可動部33を位置決めする第1アクチュエータ37と、第1可動部32に対して第2可動部33の加減速をする第2アクチュエータとを備えたステージ装置であって、第2アクチュエータは、第2可動部33に第1軸に平行な方向へ力を与える電磁石と、前記第1軸に平行しない第2軸に平行な方向へ力を与える電磁石とを含む複数の電磁石40a〜40dで構成され、該複数の電磁石40a〜40dは、該各電磁石の発生する力の力線42が、第2可動部33の重心41からオフセットし、かつ、力線42がそれぞれ複数個所で交差するように配置される。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

第1可動部と第2可動部とを含み、定盤に対して移動するステージと、 前記第1可動部に対して前記第2可動部を位置決めする第1アクチュエータと、 前記第1可動部に対して前記第2可動部の加減速をする第2アクチュエータと、 を備えたステージ装置であって、 前記第2アクチュエータは、前記第2可動部に第1軸に平行な方向へ力を与える電磁石と、前記第1軸に平行しない第2軸に平行な方向へ力を与える電磁石とを含む複数の電磁石で構成され、 前記複数の電磁石は、該各電磁石の発生する力の力線が、前記第2可動部の重心からオフセットし、かつ、前記力線がそれぞれ複数個所で交差するように配置されることを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/68 ,  H02K 33/16 ,  H02K 41/03

FI (6件)：

H01L21/30 516B ,  H01L21/30 515G ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K ,  H02K33/16 Z ,  H02K41/03 A

Fターム (36件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031JA06 ,  5F031JA22 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5H633BB08 ,  5H633BB17 ,  5H633BB20 ,  5H633GG02 ,  5H633GG13 ,  5H633HH03 ,  5H633HH13 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641GG02 ,  5H641HH03