特許
J-GLOBAL ID：201003084119428225
ダイエジェクタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲吉▼川 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-245745
公開番号（公開出願番号）：特開2010-114441
出願日： 2009年10月26日
公開日（公表日）： 2010年05月20日
要約：
【課題】半導体チップを損傷せずに金属箔から剥離可能なダイエジェクタを提供する。【解決手段】ダイエジェクタ1は、真空状態にすることが可能で、孔6を有するカバープレート3を備えるチャンバ2と、前記チャンバの内部に配置され、前記孔内に突出し、前記カバープレートの表面9に対して垂直もしくは斜角に伸長する方向に同時におよび個別に変位可能な複数のプレート8と、前記プレートを変位するための駆動手段とを備える。前記駆動手段は、モータ14および前記モータにより所定の経路に沿って2個の位置間を前後に移動可能なピン13を備える駆動機構12を備える。前記プレートの各々は経路状の開口部を備える。前記ピンは、前記プレートの各々における前記経路状の開口部内を誘導される。前記経路状の開口部は、前記ピンが前記経路に沿って移動すると前記プレートが所定の手順で前述の方向に変位するよう、プレートごとに異なる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
孔(6)を有する表面を備えるカバープレート(3)を有し、真空状態にすることが可能なチャンバ(2)と、
前記チャンバ(2)の内部に配置され、前記第1の孔(6)内に突出し、前記カバープレート(3)の前記表面(9)に対して垂直もしくは斜角に伸長する方向に変位可能な複数のプレート(8)と、
モータ(14)、および前記モータ(14)により所定の経路(17)に沿って2個の位置間を前後に移動可能なピン(13)を備える駆動機構(12)を備える、前記プレート(8)を変位するための駆動手段とを備え、
前記プレート(8)の各々は経路状の開口部(16)を有し、前記ピン(13)は前記プレート(8)の各々における前記経路状の開口部(16)内を誘導され、前記経路状の開口部(16)は前記ピン(13)が前記経路(17)に沿って移動すると前記プレート(8)が所定の手順で前述の方向に変位するようプレート(8)ごとに異なる、ダイエジェクタ(1)。
IPC (3件)：
H01L 21/52
, H01L 21/50
, H01L 21/67
H01L21/52 F
, H01L21/50 C
, H01L21/68 E
5F031CA13
, 5F031DA15
, 5F031GA23
, 5F031HA78
, 5F031MA35
, 5F031MA40
, 5F047FA01
, 5F047FA04
, 5F047FA07
