特許
J-GLOBAL ID：201003084179734996

圧電振動子及び圧電発振器

発明者：
小林 宏和

小林 宏和 について

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大場 健司

大場 健司 について

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高橋 和也

高橋 和也 について

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那須 義紀

那須 義紀 について


出願人/特許権者：
京セラキンセキ株式会社

京セラキンセキ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-257861
公開番号（公開出願番号）：特開2010-088065
出願日： 2008年10月02日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】 封止が完全になされ、応力の残留を防ぐ。【解決手段】 圧電振動素子と、平均表面粗さが1nm以下となる表面粗さで脆性材料からなる圧電振動素子搭載部材と、凹部を有し平均表面粗さが1nm以下となる表面粗さで脆性材料からなる蓋部材と、を備え、圧電振動素子を搭載した圧電振動素子搭載部材と蓋部材とが常温で直接接合されて構成されていることを特徴とする。圧電振動素子搭載部材と蓋部材とのそれぞれの接合面に接合用金属膜が設けられている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電振動素子と、平均表面粗さRaが1nm以下となる表面粗さで脆性材料からなる圧電振動素子搭載部材と、 凹部を有し平均表面粗さRaが1nm以下となる表面粗さで脆性材料からなる蓋部材と、 を備え、 前記圧電振動素子を搭載した圧電振動素子搭載部材と前記蓋部材とが常温で直接接合されて構成されていることを特徴とする圧電振動子。
IPC (3件)：
H03H 9/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 23/02
FI (4件)：
H03H9/02 A ,  H03B5/32 J ,  H01L23/02 D ,  H01L23/02 J
Fターム (14件)：
5J079AA03 ,  5J079BA43 ,  5J079HA07 ,  5J079HA09 ,  5J079HA22 ,  5J108CC04 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG07 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108JJ04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (9件)
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