特許

J-GLOBAL ID：201003084284814024

基板位置合わせ装置及び基板処理装置

発明者： 長谷川 雅己 ,  金子 一秋
出願人/特許権者： キヤノンアネルバ株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-156298
公開番号（公開出願番号）：特開2010-087473
出願日： 2009年06月30日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：

【課題】パーティクルの発生を抑制でき、コンパクトで寿命の長い基板位置合わせ装置を提供する。【解決手段】基板Wが基準点に一致するように基板の位置合わせを行う基板位置合わせ装置100は、それぞれの軸方向に平行な回転軸を中心に回転する複数の支柱103と、複数の支柱を同一方向に同一角度だけ同期して回転させる駆動機構と、基板の前記基準点からのずれ量を検出する検出器と、複数の支柱の上面部にそれぞれの回転軸からずらして配置されていて、基板を支持する支持ピン101とを具備し、検出器で検出された位置ずれ量に基づき駆動機構により複数の支柱を同一方向に同一角度だけ同期して回転させることにより、基板の位置合わせを行うことを特徴とする基板位置合わせ装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板が基準点に一致するように前記基板の位置合わせを行う基板位置合わせ装置であって、 それぞれの軸方向に平行な回転軸を中心に回転する複数の支柱と、 前記複数の支柱を同一方向に同一角度だけ同期して回転させる駆動機構と、 前記基板の前記基準点からのずれ量を検出する検出器と、 前記複数の支柱の上面部にそれぞれの回転軸からずらして配置されていて、前記基板を支持する支持ピンと、を具備し、 前記検出器で検出された位置ずれ量に基づき前記駆動機構により前記複数の支柱を同一方向に同一角度だけ同期して回転させることにより、前記基板の位置合わせを行うことを特徴とする基板位置合わせ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

H01L21/68 F ,  H01L21/31 C

Fターム (38件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031HA08 ,  5F031HA16 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031JA04 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA07 ,  5F031JA14 ,  5F031JA15 ,  5F031JA29 ,  5F031JA36 ,  5F031JA51 ,  5F031LA04 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13 ,  5F031LA15 ,  5F031MA28 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031NA18 ,  5F045AA08 ,  5F045AE01 ,  5F045BB08 ,  5F045BB15 ,  5F045DP02 ,  5F045DQ10 ,  5F045EM02 ,  5F045EM09 ,  5F045EM10 ,  5F045GB01 ,  5F045GB15