特許
J-GLOBAL ID：201003085781355102
高周波電力供給装置およびプラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-298645
公開番号（公開出願番号）：特開2010-157511
出願日： 2009年12月28日
公開日（公表日）： 2010年07月15日
要約：
【課題】各アンテナに発生する高周波電圧のバラツキを低減できて、プラズマ発生部の大口径化、大容積化を図っても均一なプラズマを発生でき、プラズマによる薄膜形成やプラズマイオン注入を安定化できる高周波電力供給装置およびプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】2つ以上の誘導性のアンテナ1と、各アンテナ1に対して電力を供給する高周波電源2、4と、各高周波電源2、4に含まれ、各アンテナ1にそれぞれ対応する高周波電力増幅器4と、高周波増幅器4の高周波出力とアンテナ1との間にインピーダンス整合用の受動回路および配線とを有し、各アンテナ1での定在波の発生を回避するために受動回路の出力点から対応するアンテナ1の任意の点までの長さが、高周波電力が各配線および各アンテナ1を波として伝搬する際の高周波電力の波長の1/4未満である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
容量性または誘導性の電気的に互いに独立した各負荷を2つ以上設けた高周波電力供給装置において、
電気的に互いに独立した各負荷に対して高周波電力を供給するための高周波電源が、対応する各負荷にそれぞれ設けられ、
上記各高周波電源は、それぞれ、対応するアンテナ導体に対する高周波電力増幅器を備え、
上記高周波増幅器の高周波出力と上記負荷との間にインピーダンス整合用の受動回路と配線が設けられ、
上記各負荷での定在波の発生を回避するために、
上記受動回路の出力点から対応する上記負荷の任意の点までの長さが、上記高周波電力が各配線および各負荷を波として伝搬する際の上記高周波電力の波長の1/4未満であることを特徴とする高周波電力供給装置。
IPC (7件)：
H05H 1/46
, H05H 1/00
, H05H 1/24
, H01L 21/205
, H01L 21/306
, C23C 16/505
, H01L 21/265
H05H1/46 R
, H05H1/00 A
, H05H1/24
, H05H1/46 L
, H01L21/205
, H01L21/302 101C
, C23C16/505
, H01L21/265 F
4K030FA01
, 4K030FA04
, 4K030JA01
, 4K030KA30
, 4K030KA39
, 4K030KA41
, 5F004AA01
, 5F004BA20
, 5F004BB13
, 5F004BB29
, 5F004CA03
, 5F004CA08
, 5F004CB05
, 5F045AA08
, 5F045AB03
, 5F045BB02
, 5F045EH02
, 5F045EH11
, 5F045EH19
, 5F045GB08
