特許

J-GLOBAL ID：201003085890006738

半導体装置

発明者： 中村 潔
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-054589
公開番号（公開出願番号）：特開2010-212326
出願日： 2009年03月09日
公開日（公表日）： 2010年09月24日
要約：

【課題】コンタクトホールの加工時において配線のダメージを受けにくく、信頼性の低下を抑制できる構造の接続部を有する半導体装置を提供すること。【解決手段】接続部1は、第1導電層2と第2導電層4とが、その交差個所に設けられたコンタクトホール5を介して接続されたものである。矩形状のコンタクトホール5は第2導電層4の幅方向の略中央に配置されている。そして、コンタクトホール5のパターンを囲むように矩形状の半導体層3が設けられている。半導体層3は、コンタクトホール5の底部において第1導電層2上に形成されている。この半導体層3は、第1導電層2とのエッチング選択比が高く、第1導電層2に対するエッチング効率が充分に高いものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第1の導電層と、 前記第1の導電層上に形成され、前記第1の導電層と重なる位置にコンタクトホールを有する絶縁層と、 前記絶縁層上に形成された第2の導電層と、 前記コンタクトホールにおいて前記第1の導電層と前記第2の導電層とを電気的に接続する導電部材と、 前記コンタクトホールの底部の少なくとも一部に形成され、前記第1の導電層と前記導電部材とを電気的に接続する半導体層と、 を有することを特徴とする半導体装置。

IPC (5件)：

H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  H01L 29/786 ,  G09F 9/30 ,  H01L 27/32

FI (7件)：

H01L21/90 B ,  H01L29/78 612C ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 616T ,  H01L29/78 612A ,  G09F9/30 338 ,  G09F9/30 365Z

Fターム (128件)：

5C094AA31 ,  5C094AA42 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA75 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EA10 ,  5C094FB01 ,  5C094FB14 ,  5C094GB10 ,  5F033GG03 ,  5F033GG04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH35 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ12 ,  5F033JJ13 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ17 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ20 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ35 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK00 ,  5F033KK03 ,  5F033KK07 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033KK11 ,  5F033KK12 ,  5F033KK13 ,  5F033KK14 ,  5F033KK17 ,  5F033KK18 ,  5F033KK19 ,  5F033KK20 ,  5F033KK21 ,  5F033KK35 ,  5F033KK38 ,  5F033NN11 ,  5F033NN13 ,  5F033NN16 ,  5F033NN17 ,  5F033NN21 ,  5F033PP00 ,  5F033PP19 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033RR24 ,  5F033SS11 ,  5F033SS21 ,  5F033VV15 ,  5F033XX09 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC05 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE07 ,  5F110EE42 ,  5F110EE43 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF27 ,  5F110FF29 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG05 ,  5F110GG42 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK07 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL07 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110HM02 ,  5F110HM04 ,  5F110HM12 ,  5F110HM17 ,  5F110HM19 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110NN72