特許
J-GLOBAL ID：201003088735492803
直線状堆積供給源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-286998
公開番号（公開出願番号）：特開2010-150662
出願日： 2009年12月17日
公開日（公表日）： 2010年07月08日
要約：
【課題】複数のノズルに供給される複数の坩堝から蒸発した材料の量を正確に制御する堆積供給源を提供する。【解決手段】堆積供給源100であって、a)堆積材料を収容する複数の坩堝102と、b)複数のコンダクタンスチャネルを備える本体112と、c)坩堝とコンダクタンスチャネルと熱的な連通をするように配置されたヒータと、d)複数の坩堝のうちの少なくとも1つに、部分的な熱分離を提供する熱シールドと、e)複数のノズルからなり、該ノズルの各々の入力は該複数のコンダクタンスチャネルの出力に連結され、蒸発した堆積材料は、該複数の坩堝から、該コンダクタンスチャネルを通って該ノズルまで移送され、該蒸発した堆積材料は該ノズルから排出され堆積フラックスを形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
堆積供給源であって、
a)堆積材料を収容する複数の坩堝と、
b)複数のコンダクタンスチャネルを備えている本体であって、該複数のコンダクタンスチャネルの各々の入力は、該複数の坩堝のそれぞれ1つの坩堝の出力と連結されている、本体と、
c)該複数の坩堝と該複数のコンダクタンスチャネルと熱的な連通をするように配置されたヒータであって、該ヒータは、該複数の坩堝の各々が該堆積材料を該複数のコンダクタンスチャネルに蒸発させるように、該複数の坩堝の温度を増加させる、ヒータと、
d)該複数の坩堝のうちの少なくとも1つに、少なくとも部分的な熱分離を提供する熱シールドと、
e)複数のノズルであって、該複数のノズルの各々の入力は該複数のコンダクタンスチャネルのうちの1つの出力に連結され、蒸発した堆積材料は、該複数の坩堝から、該複数のコンダクタンスチャネルを通って該複数のノズルまで移送され、該蒸発した堆積材料は該複数のノズルから排出され堆積フラックスを形成する、複数のノズルと
を備えている、堆積供給源。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H01L 21/363
, H01L 31/04
C23C14/24 A
, H01L21/363
, H01L31/04 E
4K029BA41
, 4K029CA01
, 4K029DB02
, 4K029DB03
, 4K029DB12
, 4K029DB14
, 4K029DB18
, 5F051AA10
, 5F051CB14
, 5F103AA01
, 5F103BB02
, 5F103BB27
, 5F103BB36
, 5F103DD30
, 5F103LL04
, 5F103RR01
