特許

J-GLOBAL ID：201003089962123004

蒸着装置

発明者： 竹内 英明 ,  岩田 充
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-019610
公開番号（公開出願番号）：特開2010-174349
出願日： 2009年01月30日
公開日（公表日）： 2010年08月12日
要約：

【課題】ホローカソード型プラズマガン3を使用してプラズマアシスト蒸着を行う装置において、蒸着プロセス室の圧力上昇による蒸着膜の膜質劣化等の問題を解消し、透明で緻密な酸化物膜等が得られる蒸着装置を提供する。【解決手段】ホローカソード型プラズマガン3のプラズマ放出部103と蒸着室101との間を圧力的に仕切りかつプラズマが蒸着室101へ通過可能な孔21を有する隔壁2を有する。プラズマアシスト蒸着を行うためのホローカソード型プラズマガン3と、蒸着室101と、プラズマガン3のプラズマ放出部103と蒸着室101との間を圧力的に仕切りかつプラズマが蒸着室101へ通過可能な孔21を有する隔壁2とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ホローカソード型プラズマガンを使用してプラズマアシスト蒸着を行う装置であって、ホローカソード型プラズマガンのプラズマ放出部と蒸着室との間を圧力的に仕切りかつプラズマが蒸着室へ通過可能な孔を有する隔壁を有する蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C 14/32

FI (1件)：

C23C14/32 H

Fターム (9件)：

4K029AA25 ,  4K029BA44 ,  4K029CA04 ,  4K029DA01 ,  4K029DA02 ,  4K029DB03 ,  4K029DB19 ,  4K029DD05 ,  4K029EA03