特許

J-GLOBAL ID：201003090176094600

切削ブレードの管理方法

発明者： 関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 松本 昂 ,  伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-006640
公開番号（公開出願番号）：特開2010-162642
出願日： 2009年01月15日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：

【課題】切削水の温度や、室内の温度が変化しても、所望の切り込み深さでウエーハを切削可能な切削ブレードの管理方法を提供する。【解決手段】チャックテーブルと、ウエーハを切削する切削手段と、切削水供給手段と、切刃の磨耗を検出するブレード検出手段68と、該切削ブレード50の基準位置検出手段とを備えた切削装置における切削ブレード50の管理方法であって、切削水の温度と切削装置が設置された室内の温度を検出する温度検出工程と、該切削ブレード50の切刃50aの基準位置を検出する基準位置検出工程と、該切削ブレード50の磨耗量を検出し、切刃50aの基準位置との差を求め、切刃50aの基準位置を補正する基準位置補正工程と、温度検出工程を常時実施し、切削水温度と第1の所定値以上異なる切削水温度を検出するか、室温と第2の所定値以上異なる室温を検出した際に該基準位置検出工程を再び実施するリセット工程と、を具備する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ウエーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切刃を外周に有する切削ブレードを備えた切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該切削ブレードの切刃の磨耗を検出するブレード検出手段と、該チャックテーブルの保持面に対して垂直方向における該切削ブレードの基準位置を検出する基準位置検出手段とを備えた切削装置における切削ブレードの管理方法であって、 切削水の温度と切削装置が設置された室内の温度を検出する温度検出工程と、 該基準位置検出手段によって該切削ブレードの切刃の基準位置を検出する基準位置検出工程と、 該ブレード検出手段によって該切削ブレードの切刃の磨耗量を検出し、該基準位置検出工程で検出された切刃の基準位置との差を求め、切刃の基準位置を補正する基準位置補正工程と、 切削水温度及び室温を検出する前記温度検出工程を常時実施し、該基準位置検出工程を実施した際の切削水温度と第1の所定値以上異なる切削水温度を検出するか、又は該基準位置検出工程を実施した際の室温と第2の所定値以上異なる室温を検出した際に該基準位置検出工程を再び実施するリセット工程と、 を具備したことを特徴とする切削ブレードの管理方法。

IPC (3件)：

B24B 49/10 ,  B24B 49/14 ,  B24B 49/12

FI (3件)：

B24B49/10 ,  B24B49/14 ,  B24B49/12

Fターム (13件)：

3C034AA19 ,  3C034BB92 ,  3C034BB93 ,  3C034CA04 ,  3C034CA06 ,  3C034CA13 ,  3C034CA19 ,  3C034CA22 ,  3C034CA26 ,  3C034CB01 ,  3C034CB14 ,  3C034DD10 ,  3C034DD12